[发明专利]一种多层高真空插板阀系统及其使用方法

权利要求书

1.一种多层高真空插板阀系统，其特征在于，包括多层高真空插板阀，所述多层高真空插板阀的两侧分别连接有真空容器，多层高真空插板阀设置有真空接口，所述真空接口连接至抽真空装置；

所述多层高真空插板阀包括过渡腔、阀腔、气缸、驱动机构、阀板以及真空接口，其中：

所述阀腔包括上层阀腔和下层阀腔；下层阀腔与所述过渡腔交替分布，下层阀腔与过渡腔连通；

气缸通过驱动机构驱动阀板在上层阀腔和下层阀腔中移动；

阀板处于下层阀腔时，阀板与下层阀腔之间通过密封圈实现密封；

所述多层高真空插板阀还包括电磁阀、法兰；所述阀板与下层阀腔之间通过密封圈实现密封；所述阀板与驱动机构相连，阀板在上层阀腔和下层阀腔内移动，实现通道的通断控制；所述驱动机构在气缸和上层阀腔内移动，电磁阀安装在气缸上；所述过渡腔通过真空接口与真空支管相连，真空泵、真空总阀、真空计、真空支阀、复压阀配合实现对过渡腔真空度数值的控制。

2.根据权利要求1所述的一种多层高真空插板阀系统，其特征在于，所述抽真空装置包括真空总管、真空泵以及多个真空支管，其中：

多个真空支管一端分别连接一真空接口，另一端接入所述真空总管；

所述真空泵连接所述真空总管。

3.根据权利要求2所述的一种多层高真空插板阀系统，其特征在于，所述真空支管上设置有真空支阀，所述真空总管与真空泵之间设置有真空总阀。

4.根据权利要求2所述的一种多层高真空插板阀系统，其特征在于，所述真空支管上还设置有真空计。

5.根据权利要求2所述的一种多层高真空插板阀系统，其特征在于，所述真空总管上还设置有复压阀，所述复压阀调节真空总管和多层高真空插板阀同步复压。

6.一种基于权利要求1-5任一项所述的多层高真空插板阀系统的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：

连接步骤：多层高真空插板阀与两侧的真空容器、底部的抽真空装置连接；

调节步骤：根据两侧的真空容器的使用方式、压差状态，需调节的状态，多层高真空插板阀进行阀板的调节以及压差的调节，两侧的真空容器进行压差的调节。

7.根据权利要求6所述的多层高真空插板阀系统使用方法，其特征在于，所述调节步骤包括：

所述两侧的真空容器的使用方式包括：两侧的真空容器组合使用或者两侧的真空容器单独使用。

8.根据权利要求6所述的多层高真空插板阀系统使用方法，其特征在于，所述调节步骤包括：所述两侧的真空容器的压差状态包括大气状态或者真空状态。

9.根据权利要求6所述的多层高真空插板阀系统使用方法，其特征在于，所述调节步骤包括：所述需调节的状态包括对两侧的真空容器或者其中一侧的真空容器抽真空或者复压。