[发明专利]一种管靶脱焊装置及其使用方法

说明书

本发明提供了一种管靶脱焊装置及其使用方法，所述装置包括脱焊台和加热组件，所述脱焊台包括脱焊底板和竖直固定于脱焊底板上的空心管，待脱焊管靶套在空心管外侧；所述加热组件包括加热棒和至少一个加热环，所述加热棒设置于所述空心管内部，所述加热环自下而上依次套在待脱焊管靶的外侧。本发明所述装置通过支撑结构和加热组件的组合，能够实现管靶中靶材和背管的均匀受热，在焊料加热熔融实现靶材和背管分离的同时，还能够实现焊料的有效回收；本发明所述装置结构简单，使用简便，脱焊过程中温度可控，脱焊效率高，尤其适用于管形靶材的脱焊分离。

技术领域

本发明属于靶材回收技术领域，涉及一种管靶脱焊装置及其使用方法。

背景技术

溅射技术是膜材料制备的主要工艺之一，在半导体、集成电路、平面显示及工件表面涂层等方面具有广泛的应用。其中溅射靶材作为溅射过程中的重要组件及材料，其所起的作用越发重要，直接影响溅射后所得膜材料的质量。

靶材组件通常是由靶材和背板相结合而构成，管靶作为一种具有管型结构的靶材，是目前常用的一种靶材结构形式，其外侧面为离子轰击表面，此时与其相结合的则是背管，通过将靶材套在背管外焊接而成，背管材料强度较高，可重复使用，而管靶溅射使用后，表面通常称呈不平整状态，难以二次加工利用；因此，对于溅射后的管靶需要进行脱焊，使其与背管分离，脱焊后的背管则与新的管靶再进行焊接。

现有技术中靶材的脱焊通常是对板形靶材和背板的分离，有采用车削的方法，即将靶材的背板车削掉，但该方法容易对靶坯造成损伤，背板材料也无法重复利用，且工艺耗时长，材料浪费多；也有采用压力法进行分离的，CN 105689832A公开了一种靶材的脱焊方法，靶材包括靶坯和背板，所述靶坯内嵌焊接于所述背板中，采用油压机进行脱焊，油压机包括油压机平台和油压机机头，将所述靶材悬空固定在油压机平台上，使靶坯朝向油压机平台且与油压机平台之间具有空隙，用油压机机头对背板背面施加压力至靶坯从背板中脱落；但该方法只采用压力来分离靶坯和背板，所需压力较高，无法实现焊料的回收，且无法适用于管靶与背管的分离。

另外，板形靶材和背板的分离也可采用加热的方法进行脱焊分离，该板形结构采用现有加热平台容易受热均匀，但管靶采用现有的加热平台脱焊处理时，由于其圆筒状结构使得管靶难以均匀受热，加热效率低，加热过程中焊料熔融后容易留存在靶材内，难以有效回收。

综上所述，对于管形靶材与背管的脱焊分离，还需寻求新的处理方法或采用新的装置来完成两者分离，同时能够实现焊料的回收。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种管靶脱焊装置及其使用方法，所述装置通过支撑结构和加热组件的组合，能够实现管靶中靶材和背管的均匀受热，在焊料加热熔融实现靶材和背管分离的同时，还能够实现焊料的有效回收；所述装置结构简单，使用方便，尤其适用于管形靶材的脱焊分离。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一方面，本发明提供了一种管靶脱焊装置，所述装置包括脱焊台和加热组件，所述脱焊台包括脱焊底板和竖直固定于脱焊底板上的空心管，待脱焊管靶套在空心管外侧；所述加热组件包括加热棒和至少一个加热环，所述加热棒设置于所述空心管内部，所述加热环自下而上依次套在待脱焊管靶的外侧。

本发明中，所述管靶脱焊装置主要包括两部分，脱焊台为支撑结构，提供管靶固定和焊料回收的平台，加热组件则通过加热棒和加热环的设置，加热棒位于管靶内部，加热环套在管靶外侧，使得管靶能够均匀受热，脱焊速度快且不易残留，同时实现焊料的回收。

以下作为本发明优选的技术方案，但不作为本发明提供的技术方案的限制，通过以下技术方案，可以更好地达到和实现本发明的技术目的和有益效果。

作为本发明优选的技术方案，所述空心管的下部外侧设有圆环，所述圆环与脱焊底板之间存在空隙。

优选地，所述待脱焊管靶的底部与圆环直接接触。