[发明专利]一种快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置及使用方法

说明书

本发明提供一种快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置，包括弧度部和直壁部，弧度部与直壁部可单独使用，或弧度部与直壁部可拆卸连接，其中，弧度部包括第一弧度部和第二弧度部，第一弧度部分别设于第二弧度部的两端，弧度部设有多个网孔；直壁部包括观察部和测量部，观察部设于测量部一端，测量部另一端开口，测量部设有观察孔。本发明的有益效果是结构简单，使用方便，具有弧度部和直壁部，且弧度部与直壁部配合使用时的形状与石英坩埚相适应，弧度部和直壁部分别与石英坩埚装配，判断石英坩埚的尺寸是否合格，快速测量，节约测量工时，测量误差小，一致性好，测量方便、易懂，测量装置成本小，便于实现自动化测量。

技术领域

本发明属于直拉单晶技术领域，尤其是涉及一种快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置及使用方法。

背景技术

石英坩埚作为直拉单晶炉重要辅料之一，对单晶炉装料、成晶及单晶品质有着重要作用，因此，石英坩埚的尺寸将影响其与其他热场件的合理装配，如果石英坩埚直壁部分尺寸不合理易造成单晶成晶差甚至坩埚上沿变形、卷边异常，如果弧度部分尺寸不合理，易造成单晶尾部断苞，势必造成单晶拉制成本上升，品质下降。因此对于单晶硅制造企业石英坩埚进厂检验工作做好尤为重要。

当前对石英坩埚测量方法多数为使用游标卡尺、卷尺、专用弧度卡尺等工具的形式进行测量，工作量大且受测量水平影响误差大、一致性差，同时存在数据不准的情况，一旦反馈尺寸不合理追溯将非常困难，这对企业的可持续发展十分不利。

发明内容

鉴于上述问题，本发明要解决的问题是提供一种快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置及使用方法，用于对石英坩埚的尺寸进行测量，测量方便，误差小，可应用于自动化测量。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置，包括弧度部和直壁部，弧度部与直壁部可单独使用，或弧度部与直壁部可拆卸连接，其中，

弧度部包括第一弧度部和第二弧度部，第一弧度部分别设于第二弧度部的两端，弧度部设有多个网孔，弧度部用于与石英坩埚装配，对石英坩埚的底部弧度进行测量，第一弧度部与第二弧度部分别对石英坩埚的底部的第一弧度和第二弧度进行测量；

直壁部包括观察部和测量部，观察部设于测量部一端，测量部另一端开口，测量部设有观察孔，直壁部用于与石英坩埚的直壁部装配，用于对石英坩埚的直壁部进行测量。

进一步的，网孔尺寸为25-100mm。

进一步的，测量部包括内径层和外径层，内径层与外径层同轴设置，内径层与外径层的一端均与观察部连接，内径层与外径层之间具有测量间隙。

进一步的，测量间隙与石英坩埚的壁厚相适应。

进一步的，弧度部与直壁部均为透明材质。

进一步的，内径层与外径层另一端开口。

一种快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置的使用方法，包括以下步骤：

S1：弧度部与石英坩埚进行装配，通过网孔判断弧度部与石英坩埚是否合理装配；

S2：直壁部与石英坩埚进行装配，石英坩埚的直壁部分插入内径层与外径层之间的测量间隙内，通过观察孔判断直壁部与石英坩埚是否合理装配。

进一步的，步骤S1中判断弧度部与石英坩埚合理装配的依据为弧度部与石英坩埚贴合，并通过红外线自动判断。

进一步的，弧度部与石英坩埚通过滑块与连杆机构进行装配。

进一步的，步骤S2中判断直壁部与石英坩埚合理装配的依据为石英坩埚直壁部分可插入测量间隙内，且石英坩埚直壁部分的内壁与外壁分别与内径层和外径层贴合，并通过红外线自动判断。