[发明专利]一种红外光偏振传感器、芯片在审
| 申请号： | 201910679206.4 | 申请日： | 2019-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN110411567A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 北京科易达知识产权服务有限公司 |
| 主分类号： | G01J4/00 | 分类号： | G01J4/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100000 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 悬梁臂 红外光 热敏 红外偏振片 波导 偏振传感器 漂移 红外探测信号 近红外光信号 红外偏振光 环形谐振腔 偏振滤光片 下转换材料 可见光 环形谐振 频率变化 频率发生 弯曲变形 红外热 激发光 探测光 偏振 灵敏 探测 芯片 输出 检测 传播 制作 转化 | ||
1.一种红外光偏振传感器，基于MEMs加工工艺制作，包括探测波导、环形谐振腔波导和热敏微悬梁臂，其特征在于所述热敏微悬梁臂上集成红外偏振片，其中：
所述探测波导接收探测光和激发光，并通过倏逝波耦合进入所述环形谐振波导；
所述环形谐振波导接收通过所述探测波导偶入的所述探测光和激发光，使所述热敏微悬梁臂共振；
所述红外偏振片接收自然红外光，并输出偏振红外光至与所述红外偏振片集成的所述热敏微悬梁臂上使所述热敏微悬梁臂发生热致弯曲变形，使所述环形谐振波导中传播的所述探测光和激发光振幅和频率发生漂移；
所述探测波导耦出所述振幅和频率发生漂移的探测光。
2.一种如权利要求1所述红外偏振传感器，其特征在于所述环形谐振腔波导集成在SiO2基底上。
3.一种如权利要求1或2所述红外偏振传感器，其特征在于：所述热敏微悬梁臂和所述环形谐振腔波导之间有一个空气间隙，使所述热敏微悬梁臂可自由振动。
4.一种如权利要求3所述红外偏振传感器，其特征在于：所述热敏微悬梁臂和所述环形谐振腔波导之间通过SiO2连接，形成所述空气间隙。
5.一种如权利要求1至4所述任一红外偏振传感器，其特征在于：所述环形谐振波导的材料为Si3N4，所述热敏微悬梁臂材料为SiNx。
6.一种红外偏振成像芯片，其特征在于由多个权利要求1至5任一红外偏振传感器、带宽滤波片、CCD探测器组成，其中所述红外偏振传感器呈阵列式紧密排列。
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