[发明专利]一种同心度检测工具和方法

说明书

本发明公开了一种同心度检测工具，用以检测单晶炉内热场装置的同心度，包括用以设于坩埚轴顶端并沿垂向延伸的支撑轴；设于所述支撑轴的顶端、用以指向热场装置内壁面的检测杆；其中，所述支撑轴与所述检测杆的第一端固定连接；所述支撑轴的延伸方向与所述检测杆的延伸方向垂直。上述同心度检测工具使用方便，能够准确地判断热场装置的同心度，解决了热场装置安装效率低的问题。此外，本发明还公开了一种同心度检测方法。

技术领域

本发明涉及单晶炉制造技术领域，特别是涉及一种同心度检测工具和方法。

背景技术

单晶炉是一种能够在惰性气体环境中将多晶硅材料融化并用直拉法生长单晶硅的设备。如图1所示，单晶炉主要包括炉腔01、坩埚轴02、加热器03、保温筒04以及驱动装置(图中未示)，其中，加热器03和保温筒04等热场装置均呈圆筒状设计并在炉腔01内同轴心设置，坩埚轴02则位于上述轴心的位置，坩埚轴02还穿过炉腔01底部与驱动装置连接，以实现埚升降和埚转。

在安装单晶炉的过程中，需要检测加热器03和保温筒04等热场装置相对于坩埚轴02的同心度，目前，工作人员往往需要使用标度尺多次测量热场装置内壁面至坩埚轴02的轴线之间的径向距离是否一致来判断同心度，由于标度尺使用不便，测量操作繁琐，难以保证标度尺的延伸方向即为坩埚轴02的轴向，使得测量数据不精准，不便于判断热场装置的同心度。

发明内容

本发明的目的是提供一种同心度检测工具，该同心度检测工具使用方便，能够准确地判断热场装置的同心度，解决了热场装置安装效率低的问题。本发明的另一目的是提供一种同心度检测方法。

为实现上述目的，本发明提供一种同心度检测工具，用以检测单晶炉内热场装置的同心度，包括：用以设于坩埚轴顶端并沿垂向延伸的支撑轴；设于所述支撑轴的顶端、用以指向热场装置内壁面的检测杆；其中，所述支撑轴与所述检测杆的第一端固定连接；所述支撑轴的延伸方向与所述检测杆的延伸方向垂直。

优选地，所述检测杆的第二端具有尖角指针。

优选地，所述检测杆设置两个。

优选地，两个所述检测杆之间夹180°角。

优选地，所述检测杆的第二端设有激光位移传感器；还包括与所述激光位移传感器相连、用以显示所述激光位移传感器的检测数据的显示屏。

优选地，所述检测杆为伸缩杆。

优选地，所述检测杆包括：调节杆，所述调节杆的第一端与所述支撑轴的顶端相连，所述调节杆的第二端设有滑槽，所述滑槽内设有条形孔；延伸杆，所述延伸杆可滑动地与所述滑槽连接。

优选地，还包括用以设于坩埚轴和所述支撑轴之间的增高轴，其中，所述增高轴与所述支撑轴可拆卸连接。

相对于上述背景技术，本发明提供的同心度检测工具，通过将支撑轴设于坩埚轴以供检测杆准确地检测热场装置的同心度。具体来说，支撑轴与坩埚轴在空间上相互垂直，以坩埚轴作为中心，将支撑轴设于坩埚轴，使支撑轴的延伸方向与坩埚轴的延伸方向一致，则检测杆的延伸方向即为坩埚轴的径向，进而控制坩埚轴转动使本同心度检测工具随之旋转，再通过多次检测热场装置内壁面与检测杆端部之间的距离来判断热场装置的中心是否与坩埚轴的中心在垂向上重合。

可以看出，本同心度检测工具能够始终保证检测杆的延伸方向经过热场装置的预设中心，无需工作人员利用标度尺逐次进行对中然后再检测热场装置的同心度，进而提高了热场装置的安装效率。