[发明专利]一种激光能量检测装置及其检测方法有效
申请号: | 201910671104.8 | 申请日: | 2019-07-24 |
公开(公告)号: | CN110487396B | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 魏磊;李宝;陈国;苑利钢;韩隆 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
主分类号: | G01J1/00 | 分类号: | G01J1/00 |
代理公司: | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人: | 于金平 |
地址: | 100015*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 能量 检测 装置 及其 方法 | ||
1.一种激光能量检测装置,其特征在于,包括:
发射单元,用于输出固定能量的激光;
衰减单元,用于对所述发射单元输出的激光进行衰减并输出衰减后的激光,所述衰减单元相对于所述发射单元可动以调节所述衰减后的激光的能量,所述衰减单元与所述发射单元配合,以模拟输出不同距离的激光;
监测单元,用于对衰减后的激光进行能量监测,实现对不同距离的激光探测效果的检测;
所述衰减单元,包括:
偏振镜,所述偏振镜与所述发射单元间隔且共轴设置,所述偏振镜与所述发射单元的中心轴线之间的夹角可调;
所述发射单元输出的激光入射至所述偏振镜后,一部分被所述偏振镜反射,另一部分穿过所述偏振镜后作为所述衰减后的激光输出;
能量收集器,用于收集经所述偏振镜反射后的激光。
2.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述偏振镜可绕所述发射单元的中心轴线转动。
3.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述能量收集器为一端敞开、另一端封闭的筒状结构,且所述能量收集器的内壁面具有凸起结构。
4.如权利要求3所述的装置,其特征在于,所述能量收集器的内壁面设有吸光件。
5.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述监测单元,包括:
分光镜,所述分光镜位于所述衰减单元远离所述发射单元的一侧且与所述衰减单元间隔设置,所述衰减后的激光入射至所述分光镜后,一部分被所述分光镜反射,另一部分穿过所述分光镜;
探测器,用于对所述分光镜反射后的激光进行探测。
6.如权利要求5所述的装置,其特征在于,所述分光镜与所述发射单元的中心轴线之间的夹角固定不变且为锐角。
7.一种激光能量检测装置的检测方法,其特征在于,所述激光能量检测装置为如权利要求1-6中任意一项所述的激光能量检测装置,所述检测方法包括:
启动所述发射单元;
调节所述衰减单元与所述发射单元的相对位置,以使所述衰减单元输出的衰减后的激光为预设值,以实现对预设距离的激光的模拟;
读取所述监测单元所检测的能量值,实现对该预设距离下的激光探测效果的检测。
8.如权利要求7所述的方法,其特征在于,所述调节所述衰减单元与所述发射单元的相对位置,包括:
转动所述发射单元,以改变所述发射单元的中心轴线与所述衰减单元之间的夹角,以实现对不同距离的激光的模拟,实现对不同距离下的激光探测效果的检测。
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