[发明专利]一种高精度X射线定向仪的测角仪

说明书

本发明将可控制电机（伺服电机、步进电机）通过联轴器直接与主轴联接，取代了原有的电机通过联轴器与蜗杆联接，再通过蜗杆、蜗轮啮合与主轴联接的方式，消除了蜗杆、蜗轮之间固有的啮合间隙。因此本发明的精度可以达到原有单反射机型无法达到的测试精度，提高了被测晶体角度的准确性。由于没有蜗杆蜗轮之间运动的磨损，保证了设备的稳定性。主轴与轴承套之间采用高精度的圆锥滚子轴承，可以满足测量较大质量晶体的要求。取消了原有的测角仪壳体，方便操作人员上下料。本发明检测效率更高、操作更加人性化、成本更低。

技术领域

本发明涉及一种X射线定向仪核心部件——测角仪，具体说涉及一种对晶棒、晶片进行高精度测量、定向的一种X射线光学仪器最精密部分的高精度X射线定向仪的测角仪。

背景技术

随着我国工业水平的迅速发展和人民生活水平提高，特别是电子元器件行业的迅速发展，晶体做为电子元件广泛地用于各行各业，目前，各类晶体原料几乎都可以人工合成。比如：人工合成水晶，从籽晶制造，晶块、晶棒研磨、晶片的切割与加工，在整个工艺中使用多台X射线定向仪，世界上欧盟、美、日等工业发达国家，都研制出各种类型高精度X射线定向仪，我国生产的X射线定向仪精度方面与国外产品有一定差距，迫使我们要努力提高定向仪的精度，生产出质优价廉的产品来更好的满足客户的需求。决定定向仪精度的关键部件就是测角仪，测角仪精度高则定向仪整机精度就高。因此，各定向仪生产厂家都投入大量的人力物力研制高精度测角仪。目前测角仪都是通过手轮带动蜗杆旋转，蜗杆带动蜗轮片旋转，蜗轮片与主轴固定在一起，从而带动主轴转动来完成对被检晶体的测量。这种测角仪存在以下几个缺点：

1、蜗轮与蜗杆之间存在啮合间隙，这个间隙无法完全消除，影响测量精度；

2、蜗轮与蜗杆之间由于长期啮合，产生磨损，时间越长，间隙越大，又进一步影响了测量精度；

3、蜗杆两端通过轴承座固定，轴承座内的轴承的精度和间隙对测量精度也会产生一定的影响；

4、主轴与轴承套之间采用的为角接触球轴承，该轴承主要承受径向力，也可以承受较小的轴向力，当测量的晶体较重时，会产生轴向位移，影响蜗轮与蜗杆之间的啮合间隙，从而影响到设备的测量精度。

发明内容

针对X射线定向仪测角仪存在的问题，本发明提供一种精度高、成本低、操作简便、检测效率高的X射线定向仪的测角仪。

解决上述技术问题所采取的具体技术措施是：

一种高精度X射线定向仪的测角仪，包括测片板1、基准板2、转接板3、上盖板7，其特征在于：可控制电机12与托架8固定联接，托架8与上盖板7固定联接，可控制电机12的输出轴通过联轴器11与主轴4的下端联接，主轴4与轴承6配合联接，轴承6安装在轴承套5内，轴承套5与上盖板7固定联接，小背帽10与可调节轴承6内环间隙的主轴4螺纹联接，大背帽9与可调节轴承6外环间隙的轴承套5螺纹联接，主轴4上端与转接板3固定联接，转接板3与基准板2固定联接，基准板2与测片板1固定联接，被测晶体放置在测片板1上。

本发明的有益效果：由于本发明将可控制电机（伺服电机、步进电机）通过联轴器直接与主轴联接取代原有的电机通过联轴器与蜗杆联接，再通过蜗杆、蜗轮啮合与主轴联接的方式，消除了蜗杆、蜗轮之间固有的啮合间隙，因此本定向仪精度可以达到原有单反射机型无法达到的测试精度，可达到±10″，实现了高精度的测量，提高了被测晶体角度的准确性。目前，国内单反射X射线定向仪的测量精度为±30″。

本发明具有以下几个优点：

1、可控制电机（伺服电机、步进电机）与主轴直连，实现了同步运动，没有了中间传动环节，有效地提高了设备测量精度；

2、长期使用时，由于没有蜗杆蜗轮之间运动的磨损，设备本身精度也不会变化，保证了设备的稳定性；