[发明专利]一种高寿命的紫外线曝光机构在审
| 申请号: | 201910658562.8 | 申请日: | 2019-07-19 |
| 公开(公告)号: | CN112241110A | 公开(公告)日: | 2021-01-19 |
| 发明(设计)人: | 史晓华;刘晓成 | 申请(专利权)人: | 苏州光舵微纳科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F7/00 |
| 代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 徐典 |
| 地址: | 215500 江苏省苏州市常熟经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 寿命 紫外线 曝光 机构 | ||
1.一种高寿命的紫外线曝光机构,其特征在于,包括:
机架,其底部为具备孔洞的底板,所述机架的顶部设有向下照射的紫外线灯,所述机架通过若干根立柱将底板与机架顶部固定;
遮光板,通过运动机构与底板固定,所述运动机构包括水平布置的连接轴,所述运动机构使遮光板具备绕连接轴自身的摆动自由度,从而周期性得遮盖在孔洞上方,所述运动机构包括直线往复伸缩件、连接块,所述连接块的一端与直线往复伸缩件轴连接,另一端与连接轴垂直固定,所述直线往复伸缩件的长度方向与连接块长度方向呈夹角布置,所述直线往复伸缩件的长度方向与连接块长度方向所在空间平面与连接轴自身轴线垂直;
挡板,连接两根相邻的立柱,所述挡板的底部与底板接触,所述挡板的顶部具备水平板,所述挡板还具备与水平板垂直连接并向下延伸的竖向板,所述连接轴穿过竖向板,所述直线往复伸缩件、连接块位于水平板的下方并且在竖向板上背离孔洞的一侧。
2.根据权利要求1所述的高寿命的紫外线曝光机构,其特征在于:所述底板上具备供竖向板装配的插槽。
3.根据权利要求2所述的高寿命的紫外线曝光机构,其特征在于:所述挡板的竖向板上具备与竖向板底部连通的豁口槽,所述连接轴位于豁口槽的最高处,所述豁口槽的宽度不小于连接轴的直径。
4.根据权利要求1所述的高寿命的紫外线曝光机构,其特征在于:所述直线往复伸缩件为直线气缸。
5.根据权利要求4所述的高寿命的紫外线曝光机构,其特征在于:所述水平板相比竖向板沿背离孔洞的方向延伸,所述水平板、竖向板均与立柱固定,所述直线气缸与底板轴连接。
6.根据权利要求1所述的高寿命的紫外线曝光机构,其特征在于:所述连接块的横断面面积是连接轴横断面面积的至少五倍。
7.根据权利要求1所述的高寿命的紫外线曝光机构,其特征在于:所述遮光板通过连接臂与连接轴装配,所述连接臂与连接轴接触处的两端各具备一个轴承座与底板连接。
8.根据权利要求7所述的高寿命的紫外线曝光机构,其特征在于:两个轴承座之间的底板上还固定有缓冲器,所述缓冲器在连接臂的转动路径上。
9.根据权利要求1所述的高寿命的紫外线曝光机构,其特征在于:所述孔洞呈圆形,所述遮光板为矩形,所述遮光板的边长大于孔洞的直径。
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