[发明专利]用于通过去除材料制造预定刚度的游丝的方法

权利要求书

1.一种用于制造预定刚度(C)的游丝(5c)的制造方法(31)，包括以下步骤：

a)形成(33)尺寸(D_a，H₁，E₁)大于获得预定刚度(C)的所述游丝(5c)所需的尺寸(D_b，H₃，E₃)的游丝(5a)；

b)确定(35)在步骤a)中形成的游丝(5a)的刚度(C)；

c)计算(37)要去除的材料的厚度，以获得为了获得预定刚度(C)的所述游丝(5c)所需要的尺寸(D_b，H₃，E₃)；

d)从步骤a)中形成的游丝(5a)去除(39)所述厚度的材料，以获得具有所述预定刚度(C)所需的尺寸(D_b，H₃，E₃)的所述游丝(5c)。

2.根据权利要求1所述的制造方法(31)，其特征在于，在步骤a)中，在步骤a)中形成的游丝(5a)的尺寸(D_a，H₁，E₁)比获得所述预定刚度(C)的所述游丝(5c)所需的尺寸(D_b，H₃，E₃)大1％到20％。

3.根据权利要求1所述的制造方法(31)，其特征在于，步骤a)是借助于深反应离子蚀刻实现的。

4.根据权利要求1所述的制造方法(31)，其特征在于，步骤a)是借助于化学蚀刻实现的。

5.根据权利要求1所述的制造方法(31)，其特征在于，在步骤a)中，在同一晶片(23)中形成尺寸(D_a，H₁，E₁)大于获得具有一种预定刚度(C)的多个游丝(5c)或具有多种预定刚度(C)的多个游丝(5c)所需的尺寸(D_b，H₃，E₃)的多个游丝(5a)。

6.根据权利要求1所述的制造方法(31)，其特征在于，在步骤a)中形成的游丝(5a)由硅制成。

7.根据权利要求1所述的制造方法(31)，其特征在于，在步骤a)中形成的游丝(5a)由玻璃制成。

8.根据权利要求1所述的制造方法(31)，其特征在于，在步骤a)中形成的游丝(5a)由陶瓷制成。

9.根据权利要求1所述的制造方法(31)，其特征在于，在步骤a)中形成的游丝(5a)由金属制成。

10.根据权利要求1所述的制造方法(31)，其特征在于，在步骤a)中形成的游丝(5a)由金属合金制成。

11.根据权利要求1所述的制造方法(31)，其特征在于，步骤b)包括以下阶段：

b1)测量包括与具有预定惯性的摆轮耦接的、在步骤a)中形成的游丝(5a)的组件的频率(f)；

b2)从测得的频率(f)推导在步骤a)中形成的游丝(5a)的刚度(C)。

12.根据权利要求6所述的制造方法(31)，其特征在于，步骤d)包括以下阶段：

d1)使在步骤a)中形成的游丝(5a)氧化，以便将要去除的所述厚度的硅材料转化为二氧化硅并由此形成氧化的游丝(5b)；

d2)从所述氧化的游丝(5b)去除氧化物，以获得具有所述预定刚度(C)所需的尺寸(D_b，H₃，E₃)的游丝(5c)。