[发明专利]半导体器件测试用分选机及其信息处理方法

说明书

本发明涉及半导体器件测试用分选机及其信息处理方法。本发明的半导体器件测试用分选机包括：条形码识别器，在从借助上述加载部分的加载的位置移动至借助上述卸载部分的卸载的位置的多个半导体器件的移动路径上的一位置，识别对多个半导体器件赋予的条形码；以及控制部分，控制条形码识别器，读取借助上述条形码识别器识别的条形码，以管理各个半导体器件的信息。根据本发明，不是对批次，而是对各个半导体器件进行信息管理，因此可提高与测试结果有关的可靠性及与各个半导体器件有关的管理能力，可管理履历。

本申请是申请日为2016年10月31日、申请号为201610929928.7、发明名称为“半导体器件测试用分选机及其信息处理方法”的发明申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及向测试器供给半导体器件的分选机(handler)。

背景技术

半导体器件在生产后发货前需要进行测试。为此需要测试器和分选机，本发明涉及分选机。

分选机用于使多个半导体器件与测试器电连接，而使测试器能够测试半导体器件。此时，分选机在根据所要求的测试条件的环境下刺激半导体器件后使其与测试器电连接。分选机可根据测试条件、待测试的半导体器件的种类或顾客的要求等以多种形态制作，如韩国公开专利10-2011-0136440号、10-2012-0106320号、10-2014-0121909号等。

通常，分选机具备装载要素，用于使多个半导体器件同时移动或一次性地对其同时进行测试。根据分选机的种类，半导体器件能够以装载于装载要素的状态下与测试器电连接或者从装载要素引出后与测试器电连接。其中，装载要素根据分选机的种类具有测试托盘、穿梭(shuttle)、装载板等多种结构及名称。

另一方面，如韩国公开专利10-2009-0005901号，将相同生产条件下生产的相同种类的半导体器件分为以批次(lot)单位同时进行测试。其理由为在相同条件下生产的半导体器件在相同条件下进行测试，由此能够追踪不良品为在何时何种条件下生产的。由于对以批次为单位的半导体器件进行测试，分选机为了防止半导体器件的混合，以先入先出的方式将半导体器件加载于装载要素或从装载要素卸载。

然而，在测试过程中的物流的流动中会出现半导体器件脱离或混合的现象，会出现因分选机或者工作员的失误(error)而不能实现100％先入先出的情况。因此，有必要经常要确认是否以批次(lot)为单位进行管理。尤其，最近因生产条件的细分导致半导体器件的批次为单位的生产处于减少的趋势，因此更需要留心。

另外，为优化细分化的生产条件，比较在何种生产条件下以何种环境条件进行测试的半导体器件出现何种特性的必要性也在抬头。

但是以批次为单位管理的现有的方式不能解决或满足上面涉及的问题。

因此预测在不远的将来会需要对半导体器件进行个别管理。本发明涉及在大量的半导体器件一次性地供给并对多个半导体器件一次性地同时测试的分选机中，需要对于半导体器件进行个别管理时所使用的技术。

发明内容

技术问题

本发明提供一种能够管理对于半导体器件的个别履历的分选机的技术。

解决问题的手段