[发明专利]显示器用玻璃基板温度调节系统

权利要求书

1.一种显示器用玻璃基板温度调节系统，其特征在于，

包括：

存放部，装载并保存多个玻璃基板；

搬送部，设置有搬送机器人，上述搬送机器人单张地把持保存在上述存放部的上述玻璃基板来移送；

温度调节部，用于在向曝光处理部供给之前调节从上述搬送部供给的上述玻璃基板的温度；

第一温度调节装置，向上述搬送部的内部供给温度处于设定温度的空气来调节温度；以及

第二温度调节装置，向上述温度调节部的内部供给温度处于设定温度的空气来调节温度，

上述温度调节部包括：

规定大小的温度调节部外罩，在内部形成收容空间，在上部形成有空气流入口，在下部一侧形成有空气排出口；

玻璃支撑单元，设置于上述温度调节部外罩的内部，用于支撑通过上述搬送部供给的上述玻璃基板；以及

空气供给装置，设置于上述温度调节部外罩的外侧上部，以通过上述空气流入口均匀地供给空气的方式分配空气，

上述玻璃支撑单元以靠近上述空气流入口侧的方式上升，来直接露出于通过上述空气供给装置分配并排出的空气中，

上述玻璃支撑单元包括：

支架，以沿着水平方向具有规定长度的方式设置；

多个球支撑部，隔着规定间隔垂直设置于上述支架的上面，在上端设置有球；

第一校准部及第二校准部，分别设置于上述支架的前后左右侧，整列上述玻璃基板的位置；以及

升降装置，位于上述支架的底面，来使上述支架进行升降，

上述玻璃支撑单元还包括：

旋转支架，以具有规定大小的方式设置于上述支架的上面中心侧；以及

支撑部件，隔着规定间隔垂直设置于上述旋转支架的上面，在上端设置有橡胶材质的防滑部件，来防止由上述玻璃基板进行旋转时的旋转力引起的滑动，

通过上述旋转支架在上升规定高度之后进行旋转的动作，放置于上述玻璃支撑单元的上述玻璃基板进行旋转，

通过玻璃支撑单元在整体调节向温度调节部外罩的内部供给的玻璃基板的表面温度之后，通过第一校准部及第二校准部、旋转支架精密地整列玻璃基板的位置，在此状态下，向曝光处理部侧移送来准确地进行位置整列。

2.根据权利要求1所述的显示器用玻璃基板温度调节系统，其特征在于，

上述空气供给装置包括：

箱形状的空气供给装置外罩，在内部形成有收容空间；

第一空气分配板，垂直设置于上述空气供给装置外罩的内部一侧，来均匀地分配向内部供给的空气；以及

第二空气分配板，水平设置于上述空气供给装置外罩的内部底面，来使内部的空气被均匀地分配并向外部排出，

在上述第一空气分配板、第二空气分配板中，隔着规定间隔形成有多个排出孔，在上述排出孔中，空气排出侧的直径大于空气流入侧的直径。

3.根据权利要求2所述的显示器用玻璃基板温度调节系统，其特征在于，在上述温度调节部外罩的内侧上部设置有用于检测因上述玻璃支撑单元上升而靠近的上述玻璃基板的温度的多个非接触式温度传感器。