[发明专利]考虑工艺误差下基于可靠性的MEMS器件参数的配置方法

权利要求书

1.考虑工艺误差下基于可靠性的MEMS器件参数的配置方法，其特征在于，根据随机配点法在不同阶数下所需要消耗的时间以及相应的精度选取合适阶数，根据每阶网格点对应范围长度构建随机生成各阶网格点的多个基函数，以对器件性能影响最大的一系列参数以及所选一系列参数受工艺误差影响的不确定参数为多目标函数的自变量，建立包含偏移函数、不确定性函数、可靠性约束的多目标函数，以每一个网格点上多目标函数与拟合函数的差值为所有基函数乘积的权重，以多维基函数加权和的增量函数为递推下一阶拟合函数的增量，通过多次递推得到显示表达式形式的器件性能函数，利用NSGA-II算法确定器件性能函数最优解；其中，

根据每阶网格点对应范围长度构建随机生成各阶网格点的多个基函数，用于生成第i阶第j个网格点的基函数为：h_i＝1/2ⁱ，x为待优化参数，为第i阶第j个网格点对应的所有基函数的乘积，m_i为第i阶的网格点个数，h_i为第i阶网格点对应范围长度；

所述多维基函数加权和的增量函数为：ω^I＝F_u(P^I)-A_q-1(f)(P^I),I＝i₁+i₂+…+i_n，ΔA_q(f)为第q次递推过程得到的多维基函数加权和的增量函数，l^I为基函数集合I中所有基函数i₁、i₂、…、i_n的乘积，ω^I为基函数集合I中所有基函数乘积的权重，P^I为根据基函数集合I生成的网格点，F_u(P^I)为多目标函数在P^I上的计算值，A_q-1(f)(P^I)为在P^I上第q-1次迭代得到的拟合函数；

利用NSGA-II算法确定器件性能函数最优解的具体方法为：将待优化的参数映射为种群中的每个个体，根据多目标函数求解每个个体的拥挤度，再结合精英保留策略筛选个体优化种群。

2.根据权利要求1所述考虑工艺误差下基于可靠性的MEMS器件参数的配置方法，其特征在于，对器件性能影响最大的一系列参数包括器件尺寸及杨氏模量，偏移函数为参数均值和目标值的差值，不确定性函数为不确定参数所服从分布的方差，可靠性约束采用参数在目标值±5％的范围内的概率大于一定值表示。