[发明专利]具有减振传递的驱动系统

说明书

本发明提供一种具有减少振动传递的驱动系统。该驱动系统具有驱动电机主体，该驱动电机主体可操作以产生驱动物体沿往复方向移动的驱动力。枢轴支撑件位于驱动电机主体和机座之间，用于将驱动电机主体支撑在机座上。枢轴支撑件使得驱动电机主体的至少一部分在与驱动电机主体产生的驱动力的方向相反的方向上相对于机座旋转以驱动物体，从而减少对机座的振动传递。

技术领域

本发明涉及一种用于操作诸如引线键合器的机器上的部件的驱动系统，具体涉及一种减少由驱动系统产生并被传递到机器的其他部件的振动的驱动系统。

背景技术

当在带有电机的机器上驱动部件时，通常会从这种驱动运动产生反作用力并将其传递到机器的底座。反作用力将在运动方向上引起振动，这可能影响被驱动的部件的运动精度。

为了说明这一点，图1是传统线性电机组件100的等距视图，例如可以在引线键合器中找到的线性电机组件。传统的线性电机组件100的驱动电机主体102直接安装在机座104上。当电机驱动线圈106与电机驱动磁铁108电磁相互作用以用电机驱动力Fa驱动键合头支撑件110时，与电机驱动力Fa相反的电机主体反作用力Fb将作为机座反作用力Fc直接传递到机座。通常，Fc=Fb=Fa。

机座反作用力Fc将使机器沿电机驱动力Fa的运动方向振动（参见图1）。因此，运动的精度，尤其是高速驱动运动的准确性可能受到不利影响。

在名称为“用于半导体制造设备的XY工作台（XY Table for a SemiconductorManufacturing Apparatus）”的美国专利6,727,666中描述了一种减小反作用力的方法，其中电机的电机底座适于在与被驱动体相反的线性方向上移动，从而抵消产生的反作用力。

在名称为“双轴浮动定子线性平台”的中国专利CN102522356B中描述了另一种类似的方法，其中XY运动平台的XY电机底座可沿与驱动器相反的线性方向移动，因此反作用力不会被传递到XY运动平台。还增加了弹簧阻尼系统以约束运动体的运动。

如上所述的这些方法通常通过使用辊使驱动电机主体102能够在与电机驱动力Fa相反的线性方向上移动，以最小化振动影响。这有助于抵消或最小化传递到机座104的反作用力Fb。然而，在实际操作中，必须增加弹簧阻尼系统以防止驱动电机主体102移出在电机驱动线圈106和电机驱动磁铁108之间的有效电磁相互作用区域。这种弹簧阻尼系统仍将引起大部分电机主体反作用力Fb，该反作用力Fb通过来自弹簧阻尼系统的弹簧力而平行于电机驱动力Fa的施加方向传递到机座104。因此，传统线性电机组件100的运动精度仍将受到不利影响。

发明内容

因此，本发明的目的是寻求减少来自机器主体中的部件驱动运动的振动传递，同时避免上述现有技术的缺点。

因此，本发明提供一种用于减少从驱动电机到机座的振动传递的驱动系统，该驱动系统包括：驱动电机主体，其能操作以产生驱动物体沿往复方向移动的驱动力；支撑驱动电机主体的枢轴支撑件，枢轴支撑件位于驱动电机主体和机座之间；其中，枢轴支撑件能操作以使驱动电机主体的至少一部分沿与驱动电机主体产生的驱动力的方向相反的方向相对于机座旋转以驱动物体。

在下文中通过参考图示了本发明的特定优选实施例的附图将便于更详细地描述本发明。附图和相关描述的特殊性不应被理解为取代由权利要求限定的本发明的广泛认同的一般性。

附图说明

现在将参照附图描述根据本发明的提供减少振动传递的示例性驱动系统。

图1是传统的线性电机组件的等距视图。

图2A和图2B分别是根据本发明第一优选实施例的电机驱动系统的等距视图和侧视图。

图3A和图3B分别是根据本发明第二优选实施例的电机驱动系统的等距视图和侧视图。