[发明专利]具有流量分配器的蒸气递送容器

权利要求书

1.一种用于将化学前体递送到加工设备的容器，所述容器包括：

器皿，所述器皿包括器皿底板、从所述底板延伸到上器皿边缘的器皿侧壁、以及横跨从所述器皿的中心轴线到所述上器皿边缘的径向距离的盖，所述器皿底板、所述器皿侧壁和所述器皿的盖限定所述器皿中的内部容积，所述器皿具有外表面和内表面；

进口导管，所述进口导管从所述器皿的所述外表面延伸通过所述器皿到所述器皿的所述内表面；

流量分配器，所述流量分配器位于所述器皿内部并与所述进口导管流体流连通，所述流量分配器包括至少一个导管，所述导管具有在其中形成的、用于将气体从所述进口导管排出到所述器皿中的多个孔；和

出口导管，所述出口导管与所述器皿的所述内部容积流体流连通，

其中所述流量分配器包括分配器底板、分配器顶板、从所述分配器底板的外周边延伸到所述分配器顶板的外周边的外分配器侧壁、以及从所述分配器底板的内周边延伸到所述分配器顶板的内周边的内分配器侧壁，所述分配器底板和所述分配器顶板分别从其内周边横跨到其外周边；和

其中所述内分配器侧壁在所述流量分配器中限定通道口，所述通道口允许流体从所述器皿的所述内部容积通过所述流量分配器流到所述出口导管。

2.根据权利要求1所述的容器，其中所述流量分配器具有环形形状；并且所述多个孔在所述流量分配器的所述分配器底板中形成并且布置成多个同心环形孔阵列，所述同心环形孔阵列包括内部孔阵列和外部孔阵列，其中所述内部孔阵列的半径小于所述外部孔阵列的半径；其中所述内部孔阵列与所述外部孔阵列径向偏离或不径向偏离。

3.根据权利要求2所述的容器，其中所述流量分配器与所述器皿轴向对齐，所述器皿具有内器皿半径，并且所述外部孔阵列径向地定位在所述内器皿半径的65％和85％之间。

4.根据权利要求2或3所述的容器，其中(1)所述内部孔阵列的每个孔与其在所述内部孔阵列中的相邻孔基本上等距；(2)所述外部孔阵列的每个孔与其在所述外部孔阵列中的相邻孔基本上等距；或(1)和(2)的组合。

5.根据权利要求4所述的容器，其中所述内部孔阵列中的两个孔之间的距离基本上等于所述内部孔阵列的半径。

6.根据权利要求2-5中任一项所述的容器，其中所述外部孔阵列的外孔与所述内部孔阵列的内孔的比率在1.5:1和3:1之间。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的容器，其中所述流量分配器的所述通道口与所述器皿轴向对齐，所述器皿具有内器皿半径，并且所述通道口的半径在所述内器皿半径的25％和35％之间。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的容器，其中所述出口导管偏离所述流量分配器的所述通道口的中心。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的容器，其中所述器皿具有上部和下部，所述上部位于所述盖与所述分配器顶板之间，并且所述下部位于所述分配器底板与所述器皿底板之间；和

其中所述出口导管与所述器皿的所述上部流体流连通。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的容器，其中所述流量分配器中的所述孔具有≥0.001英寸(0.0025cm)并且≤0.50英寸(1.27cm)的等效直径。

11.一种使用用于将化学前体递送到加工设备的容器的方法，所述方法包括：

提供根据权利要求1-10中任一项所述的容器；

将载气引入到所述进口导管中并且通过所述流量分配器；

使所述载气通过所述多个孔并排出到所述器皿的所述内部容积中，使得所述载气冲击所述化学前体的表面；

使所述化学前体的部分从所述化学前体的所述表面升起并通过所述流量分配器的所述通道口；和

递送所述化学前体的所述部分通过所述出口导管。