[发明专利]更换光刻胶瓶罐的车辆、电脑系统及更换方法有效

专利信息
申请号: 201910629306.6 申请日: 2019-07-12
公开(公告)号: CN110712582B 公开(公告)日: 2021-07-16
发明(设计)人: 于之跃;王希鸣;陈裕凯;吴立仁;杨谨漪;邱惠琪 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: B60P3/00 分类号: B60P3/00
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 谢强;黄艳
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 更换 光刻 胶瓶罐 车辆 电脑 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种车辆,用于更换一光刻胶瓶罐,包括:

一处理器,配置以:

接收更换一第一光刻胶瓶罐的一请求信号,其中该请求信号包括关联于该第一光刻胶瓶罐的一第一地点;以及

基于该请求信号而传递一指令;

多个车轮,配置以从该第一地点移动该车辆至一第二地点,且从该第二地点移动该车辆至该第一地点;以及

一机械手臂,配置以:

在该第一地点装载该第一光刻胶瓶罐至一第一容器中;

在该第二地点装载一第二光刻胶瓶罐至一第二容器中;

从该第二光刻胶瓶罐移除一盖部,且从该第一光刻胶瓶罐移除一套筒;

耦接该第一光刻胶瓶罐的该套筒至该第二光刻胶瓶罐;以及

在该第一地点从该第二容器卸载该第二光刻胶瓶罐,

其中该机械手臂包括一抓握部,用于通过夹持至该盖部及该套筒的分别的一外侧壁而从该第二光刻胶瓶罐移除该盖部,且从该第一光刻胶瓶罐移除该套筒。

2.如权利要求1所述的车辆,还包括:

一第一可转动台座及一第二可转动台座,用于分别地固定该第一容器及该第二容器至该第一可转动台座及该第二可转动台座上,且沿一水平平面转动该第一容器及该第二容器。

3.如权利要求1所述的车辆,其中该抓握部更配置以通过耦接至在该第一容器及该第二容器的分别的多个底部的多个载体插入部并抬起该第一容器及该第二容器而装载及卸载该第一容器及该第二容器。

4.如权利要求2所述的车辆,还包括一车辆本体,用于连接该第一可转动台座、该第二可转动台座、该机械手臂及该多个车轮。

5.如权利要求4所述的车辆,还包括固定在该车辆本体上的一成像装置,用于监测该第一容器及该第二容器的装载及卸载。

6.如权利要求3所述的车辆,其中该抓握部包括连接至多个夹钳基部的多个夹钳结构以及面向多个不同侧向方向的多个夹钳。

7.一种电脑系统,用于更换一光刻胶瓶罐,包括:

一存储器,配置以存储更换该光刻胶瓶罐的一程序及数据;以及

一处理器,配置以:

接收更换一第一光刻胶瓶罐的一请求信号,其中该请求信号包括关联于该第一光刻胶瓶罐的一第一地点;

发送一车辆至该第一地点;以及

控制该车辆以:

装载该第一光刻胶瓶罐至该车辆上;

运输该第一光刻胶瓶罐至一第二光刻胶瓶罐所在的一第二地点;

装载该第二光刻胶瓶罐至该车辆上;

移除该第二光刻胶瓶罐的一盖部及该第一光刻胶瓶罐的一套筒;

耦接该第一光刻胶瓶罐的该套筒至该第二光刻胶瓶罐上;以及

运输该第二光刻胶瓶罐至该第一地点,

其中移除该第二光刻胶瓶罐的该盖部及该第一光刻胶瓶罐的该套筒的操作包括:

夹持至该盖部的一外侧壁及该套筒的一外侧壁上;

分别地沿该盖部及该套筒耦接至该第二光刻胶瓶罐及该第一光刻胶瓶罐的一方向而分别地转动该车辆的一第一可转动台座及一第二可转动台座。

8.如权利要求7所述的电脑系统,其中该处理器更配置以:

控制该车辆,以通过插入该车辆的一机械手臂至一第一容器中及抬起该第一容器至该车辆的该第一可转动台座上而装载该第一光刻胶瓶罐至该车辆上;以及

控制该车辆,以通过插入该车辆的该机械手臂至一第二容器中及抬起该第二容器至该车辆的该第二可转动台座上而装载该第二光刻胶瓶罐至该车辆上。

9.如权利要求8所述的电脑系统,其中:

该存储器更配置以存储包括该第一地点及该第二地点的一地图;以及

该处理器更配置以在该地图上定位该第一地点及该第二地点,且控制该车辆,以根据该地图而接近该第一地点及该第二地点。

10.如权利要求7所述的电脑系统,其中该处理器更配置以控制该车辆,以通过监测附接至经由该套筒而插入的一软管的一重物的一实时位置而监测该套筒的一位置。

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