[发明专利]一种软体静电吸盘

权利要求书

1.一种软体静电吸盘，其特征在于，包括：

顶层模块，其包括由上至下依次附着的第一柔性绝缘层、第一环形电极、第一封膜、第二封膜和第二环形电极，所述第一封膜和所述第二封膜的中部和侧边密封连接，形成一闭合的第一环形容纳空间，所述第一环形容纳空间内设置有可流动绝缘介质，所述第一柔性绝缘层至少可以覆盖所述第一环形电极；

底层模块，其包括由上至下依次附着的第五环形电极、第五封膜、第六封膜、底层电极和第二柔性绝缘层，其中，所述底层电极包括第六环形电极和第七环形电极，所述第六环形电极和所述第七环形电极套设且彼此绝缘；所述第五封膜、所述第六封膜和所述第二柔性绝缘层上均开设有透气孔，所述第五封膜和所述第六封膜对应的内边和对应的侧边均密封连接，形成一闭合的第三环形容纳空间，所述第三环形容纳空间内设置有可流动绝缘介质；其中，

所述第二封膜与所述第五封膜之间相连接。

2.如权利要求1所述的一种软体静电吸盘，其特征在于，所述第七环形电极具有一开口，用于引出所述第六环形电极的连接部。

3.如权利要求1所述的一种软体静电吸盘，其特征在于，所述第一柔性绝缘层为PDMS绝缘层。

4.如权利要求1或2或3所述的一种软体静电吸盘，其特征在于，所述第二柔性绝缘层为PDMS绝缘层。

5.如权利要求1所述的一种软体静电吸盘，其特征在于，还包括若干中间模块，其包括由上至下依次附着的第三环形电极、第三封膜、第四封膜和第四环形电极，所述第三封膜和所述第四封膜上均开设有透气孔，所述第三封膜和所述第四封膜对应的内边和对应的外边均密封连接，形成一闭合的第二环形容纳空间，所述第二环形容纳空间内设置有可流动绝缘介质；其中，位于最上层的中间模块的第三封膜与所述第二封膜之间相连接，位于最下层的中间模块的第四封膜与所述第五封膜之间相连接，相邻的两个所述中间模块之间相连接。

6.如权利要求5所述的一种软体静电吸盘，其特征在于，所述第一环形电极、所述第二环形电极、所述第三环形电极、所述第四环形电极、所述第五环形电极、所述第六环形电极和所述第七环形电极均为导电油墨电极。

7.如权利要求5所述的一种软体静电吸盘，其特征在于，还包括铜箔贴片，所述第一环形电极、所述第二环形电极、所述第三环形电极、所述第四环形电极、所述第五环形电极、所述第六环形电极和所述第七环形电极均具有一连接部，所述铜箔贴片与所述连接部相配合，用于与外部电连接。

8.如权利要求5-7任意一项所述的一种软体静电吸盘，其特征在于，所述第一封膜、所述第二封膜、所述第三封膜和所述第四封膜均为热封膜。

9.如权利要求1所述的一种软体静电吸盘，其特征在于，所述第二封膜与所述第五封膜之间涂覆有硅胶，所述第二封膜与所述第五封膜之间通过硅胶相连接且连接部的投影位于所述第一环形电极、所述第二环形电极、所述第五环形电极和所述第六环形电极内。

10.如权利要求5所述的一种软体静电吸盘，其特征在于，所述第二封膜与所述第三封膜之间涂覆有硅胶，所述第四封膜与所述第五封膜之间涂覆有硅胶；所述第二封膜与所述第三封膜之间通过硅胶相连接，所述第四封膜与所述第五封膜之间通过硅胶相连接，且所述第二封膜与所述第三封膜之间的连接部以及所述第四封膜与所述第五封膜之间的连接部的投影均位于所述第一环形电极、所述第二环形电极、所述第三环形电极、所述第四环形电极、所述第五环形电极和所述第六环形电极内。