[发明专利]一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置在审

专利信息
申请号: 201910617045.6 申请日: 2019-07-09
公开(公告)号: CN110202709A 公开(公告)日: 2019-09-06
发明(设计)人: 方珏 申请(专利权)人: 深圳市雯逸水晶有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04;B08B1/00;B08B1/04;B08B3/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市罗*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 单晶棒 工作腔 夹紧柱 切割 夹紧机构 切割工序 脱胶装置 可调式 滑板 棒料 单晶 一次切割 移动机构 滑动 可固定 切割点 主机体 底壁 夹紧 送料 脱胶 外周 支撑 主机 体内 加工
【权利要求书】:

1.一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,包括主机体,其特征在于:所述主机体内开设有工作腔,所述工作腔内设有夹紧柱,所述夹紧柱的外周上设有可固定单晶棒料的夹紧机构,所述夹紧柱的下侧固设有支撑块,所述工作腔的底壁上滑动设有滑板,所述支撑块固设在所述滑板上,所述工作腔的下侧靠左位置开设有移动槽,所述移动槽内设有可控制所述滑板左右滑动的移动机构,所述工作腔的顶壁上铰接设有两组左右对称的第一金属套;

所述工作腔内设有支撑架和动力箱,所述支撑架和所述动力箱的顶面上均铰接有滑杆,两组所述滑杆左右对称,所述滑杆均与所述第一金属套滑动连接,所述滑杆的顶面与所述第一金属套之间均安装有第一弹簧,所述支撑架的下侧设有可以用于切割单晶棒料成圆片状的切割机构,所述动力箱的右侧连接设有可以控制所述动力箱和所述支撑架上下移动的升降机构,所述动力箱内开设有动力腔,所述动力腔内设有可以给所述切割机构和所述升降机构提供动力的动力机构,所述工作腔的下侧靠右位置连通设有清洗腔,所述清洗腔内设有可以接收单晶棒料被切割形成的单晶圆片,并进行水洗脱胶的清洗机构。

2.根据权利要求1所述的一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,其特征在于:所述夹紧机构包括固定套,所述固定套固设在所述夹紧柱的外周上,所述固定套的左侧固设有两组上下对称的气缸,所述气缸的右侧均动力连接有推动杆,所述推动杆向右延伸部分均贯穿所述固定套的内壁,且其右侧面均铰接有第一连杆,所述第一连杆的另一侧面均铰接有第二连杆,所述第二连杆的弯曲部分均与所述夹紧柱铰接,且其右侧面均固设有夹紧套,所述工作腔的底壁上固设有辅助台,所述辅助台位于所述夹紧柱右侧。

3.根据权利要求1所述的一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,其特征在于:所述移动机构包括第一电机,所述移动槽的下侧连通齿轮腔,所述第一电机固嵌在所述齿轮腔的底壁里,所述齿轮腔内设有第一锥齿轮,所述第一锥齿轮与所述第一电机动力连接,所述齿轮腔的后壁上转动设有第二锥齿轮和第一齿轮,所述第一齿轮位于所述第二锥齿轮后侧,所述第二锥齿轮与所述第一锥齿轮啮合,所述第一齿轮向上延伸部分伸入所述移动槽内,所述滑板下侧面带有齿牙,所述第一齿轮与所述滑板下侧面啮合。

4.根据权利要求1所述的一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,其特征在于:所述切割机构包括固设在所述动力箱的左侧面的矩形块,所述矩形块的左侧面转动设有两组前后对称的从动轮,所述支撑架转动安装有切割轴,所述切割轴的外周上固设有切割线轮,所述切割线轮与两组所述从动轮之间安装有金刚切割线,所述切割轴向右延伸部分贯穿所述支撑架和所述动力箱的内壁,并伸入所述动力腔内。

5.根据权利要求1所述的一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,其特征在于:所述升降机构包括皮带轴,所述皮带轴转动设在所述动力箱的右侧面上,所述皮带轴向左延伸部分伸入所述动力腔内,所述工作腔的顶壁上固设有两组左右对称的第二金属套,所述第二金属套均滑动连接有滑块,所述滑块与所述第二金属套之间均安装有第二弹簧,两组所述滑块之间转动设有从动轴,所述工作腔的顶壁上固设有固定柱,所述固定柱的左侧转动连接有传动轴,所述工作腔的上侧开设有传动腔,所述传动腔与所述工作腔之间连通设有连接腔,所述传动腔的右壁上转动设有横轴,所述皮带轴、所述从动轴、所述传动轴和所述横轴之间安装有第一皮带,所述第一皮带贯穿所述连接腔。

6.根据权利要求5所述的一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,其特征在于:所述支撑架的上侧面固设有第一螺套,所述动力箱的上侧面固设有第二螺套,所述工作腔和所述传动腔之间的内壁里转动设有第一螺杆和第二螺杆,所述第一螺杆位于所述第二螺杆左侧,所述第一螺杆和所述第二螺杆向上延伸部分均伸入所述传动腔内,所述第一螺杆的上侧面固设有第一带轮,所述第二螺杆的外周上固设有第二带轮,所述第一带轮和所述第二带轮之间安装有第二皮带,所述第一螺杆和所述第二螺杆向下延伸部分均伸入所述工作腔内,所述第一螺杆与所述第一螺套螺纹配合,所述第二螺杆与所述第二螺套螺纹配合,所述第二螺杆的上侧面固设有第三锥齿轮,所述横轴的左侧面固设有第四锥齿轮,所述第三锥齿轮与所述第四锥齿轮啮合。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市雯逸水晶有限公司,未经深圳市雯逸水晶有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910617045.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top