[发明专利]一种在金属锌上沉积氧化锌薄膜的方法

权利要求书

1.一种在金属锌上沉积氧化锌薄膜的方法，其特征在于，所述方法包括：

A1、化学浴沉积前驱液配制：将锌盐和六亚甲基四胺溶解于去离子水中，配制成化学浴沉积前驱液；

A2、氧化锌薄膜沉积：将所述化学浴沉积前驱液在常压下水浴加热至预设温度并保持恒温后，将金属锌置入进行化学浴沉积1.5～2.5小时；

所制备的氧化锌薄膜的形貌通过改变化学浴的水浴温度进行调控，具体表现为：

水浴恒温温度高于60℃且等于或低于82℃：颗粒状氧化锌薄膜；

水浴恒温温度等于或高于85℃且等于或低于90℃：大致垂直表面生长的柱状氧化锌薄膜；

水浴恒温温度高于82℃且低于85℃：颗粒状氧化锌和柱状氧化锌并存。

2.根据权利要求1所述的在金属锌上沉积氧化锌薄膜的方法，其特征在于，步骤A1中，所述锌盐为硝酸锌、硫酸锌或者氯化锌。

3.根据权利要求1所述的在金属锌上沉积氧化锌薄膜的方法，其特征在于，步骤A1中，所述锌盐和六亚甲基四胺的摩尔比为1:2～10:1。

4.根据权利要求1所述的在金属锌上沉积氧化锌薄膜的方法，其特征在于，步骤A1中，所述化学浴沉积前驱液中锌离子的浓度为0.025mol/L～0.25mol/L。

5.根据权利要求1所述的在金属锌上沉积氧化锌薄膜的方法，其特征在于，步骤A2中，所述金属锌在沉积前经去离子水和无水乙醇清洁后在室温下干燥。

6.根据权利要求1所述的在金属锌上沉积氧化锌薄膜的方法，其特征在于，步骤A2中，将金属锌置入并将需要沉积氧化锌薄膜的目标表面保持在竖直方向进行化学浴沉积。

7.根据权利要求1所述的在金属锌上沉积氧化锌薄膜的方法，其特征在于，步骤A2中，所述化学浴沉积结束后，取出沉积了氧化锌薄膜的金属锌，用去离子水和无水乙醇清洁后在室温下干燥。