[发明专利]镶嵌样品EBSD检测用样品台、制作方法及检测装置

说明书

本公开提供了一种镶嵌样品EBSD检测用样品台、制作方法及检测装置。其中，镶嵌样品EBSD检测用样品台，包括：定位台，所述定位台上设置有定位凹槽，所述定位凹槽上方设置有夹具，所述夹具内设置有内腔，所述内腔底部设置有调节面板，所述调节面板的一端与调节杆相连；所述内腔放置镶嵌样品块，所述内腔与定位凹槽相对设置，所述内腔的直径大于定位凹槽的直径；所述调节杆穿过夹具底部，用于调整调节面板的高度，使调节面板与镶嵌样品块顶面相接触，镶嵌样品块底面与夹具的下边缘相平齐；所述夹具上还连接有与镶嵌样品块底面呈70度夹具的支座。

技术领域

本公开属于EBSD检测用样品台领域，尤其涉及一种镶嵌样品EBSD检测用样品台、制作方法及检测装置。

背景技术

本部分的陈述仅仅是提供了与本公开相关的背景技术信息，不必然构成在先技术。

电子背散射衍射技术(Electron Backscattered Diffraction，简称EBSD)是用于测量晶体材料的晶体结构、取向及相关信息的方法。该技术基于扫描电镜中电子束在倾斜样品表面激发出并形成的衍射菊池带来进行相关的信息分析。样品在进行EBSD检测时，为了同时获得高质量的图像分辨率及衍射信号，通常要求样品待检测面与水平面呈70度夹角。目前通用的方法是将样品台制作出与水平面呈70度倾斜角的截面，将样品粘到该截面上，使待检测面与该预倾斜70度的截面平行，以达到待检测面与水平面呈70度夹角的目的。这就要求样品的底面与待检测面保持平行。在实际的样品制备过程中，待检样品一般先镶嵌，磨制和抛光等过程，最终去掉样品待检测面的表面应变层，以达到进行EBSD检测的表面质量要求，且样品制备过程中要求带检测面与底面保持平行状态。

发明人发现，在实际的样品磨制、抛光过程中，由于人为或机器施力中心偏移等原因，样品的待检测面容易发生倾斜，出现待检测面与样品底面不平行的现象，这样样品安装到样品台上后也会由于样品的待检测面与样品底面不平行，无法保证样品的待检测面与水平面呈70度夹角，为后续的EBSD检测带来信号差，或信号质量分布不均匀等不良后果，最终影响到EBSD检测的效果；同时由于镶嵌块自身的重量，检测过程中极易出现图像飘移的状况，最终导致检测失败。

发明内容

为了解决由于样品上下底面不平行导致的样品待检测面与水平面的倾斜角达不到70度的状况，同时解决镶嵌样品EBSD检测过程中图像飘移的问题，本公开的第一个方面提供一种镶嵌样品EBSD检测用样品台，其将镶嵌样品块通过机械固定的方式固定在夹具上，避免EBSD检测过程中图像的飘移，同时镶嵌块的表面与夹具的边缘平齐，保证了待检测面与水平面呈70度夹角，确保检测获得最优的图像质量和最佳的衍射信号。

为了实现上述目的，本公开采用如下技术方案：

一种镶嵌样品EBSD检测用样品台，包括：

定位台，所述定位台上设置有定位凹槽，所述定位凹槽上方设置有夹具，所述夹具内设置有内腔，所述内腔底部设置有调节面板，所述调节面板的一端与调节杆相连；所述内腔放置镶嵌样品块，所述内腔与定位凹槽相对设置，所述内腔的直径大于定位凹槽的直径；所述调节杆穿过夹具底部，用于调整调节面板的高度，使调节面板与镶嵌样品块顶面相接触，镶嵌样品块底面与夹具的下边缘相平齐；所述夹具上还连接有与镶嵌样品块底面呈70度夹角的支座。

进一步地，所述内腔上还设置有若干个定位孔，所述定位孔内设置有定位螺钉，所述定位螺钉用于固定镶嵌样品块，以避免镶嵌样品块从内腔中滑落。

进一步地，当EBSD检测时，所述支座固定在立柱上，使得镶嵌样品块底面成为待检测面，保证了待检测面与水平面呈70度夹角。

进一步地，所述支座包括支撑部和卡接部，所述卡接部为沿支撑部底部向外延伸的凸起，该凸起与立柱顶部开设的凹口相匹配连接。