[发明专利]小型静态退火炉

权利要求书

1.一种小型静态退火炉，其特征在于，包括炉体框架、炉体冷却装置、托盘、测温装置、电源装置、光照装置、加热装置；

所述托盘在所述炉体框架的内部和外部之间移动，用于承载硅片，将硅片送入退火炉内部；

所述测温装置设置在所述炉体框架内部，用于实时监测炉体内的温度；

所述炉体冷却装置设置在所述炉体框架内部，用于对炉体进行降温；

所述电源装置为所述光照装置提供恒定电流的电源；

所述光照装置设置在位于炉体内的所述托盘的上方，用于以预定波长的光照射所述托盘上的硅片；

所述加热装置设置在炉体内，用于对所述托盘上的硅片加热。

2.根据权利要求1所述的小型静态退火炉，其特征在于，所述炉体冷却装置包括风冷模块和水冷模块；

所述风冷模块包括风机和通风管道，所述通风管道横跨在所述光照装置的上方，所述通风管道的两个风口分别设置在所述光照装置的两侧，所述风机用于带动气体在所述通风管道内和所述托盘下方的空间循环流动；

所述水冷模块设置在所述通风管道上，所述通风管道中的热风经过所述水冷模块时将热量传递给所述水冷模块中的冷却液，所述水冷模块用于将冷却液输出到外部进行冷却后回流。

3.根据权利要求2所述的小型静态退火炉，其特征在于，所述水冷模块包括水冷排和水泵，所述水泵带动所述水冷排中的冷却液流动。

4.根据权利要求2所述的小型静态退火炉，其特征在于，所述风机为长轴风机。

5.根据权利要求1所述的小型静态退火炉，其特征在于，所述托盘以抽屉式安装在所述炉体框架上。

6.根据权利要求1所述的小型静态退火炉，其特征在于，所述托盘上包括预定数量的镂空区域，所述镂空区域设置有拦网，硅片放置在所述镂空区域的拦网上。

7.根据权利要求1所述的小型静态退火炉，其特征在于，所述光照装置包括LED灯管模块；所述LED灯管模块根据不同的波长要求拆卸更换。

8.根据权利要求1所述的小型静态退火炉，其特征在于，所述加热装置包括红外灯管，所述红外灯管的加热温度通过灯管功率调节。

9.根据权利要求1所述的小型静态退火炉，其特征在于，所述测温装置包括红外测温仪。

10.根据权利要求1至9任一所述的小型静态退火炉，其特征在于，所述小型静态退火炉还包括气体更换装置，所述气体更换装置用于抽出炉内的第一气体并向炉内充入第二气体，所述第一气体包括空气，所述第二气体包括惰性气体。