[发明专利]一种压力传感器

说明书

本发明涉及一种压力传感器，包括衬底、输入端、输出端，输入端和输出端置于衬底上，输入端和输出端之间设置连接部，连接部分为上连接部和下连接部，下连接部置于衬底上，上连接部置于下连接部上。在给上连接部施加压力时，上连接部的有效折射率发生变化，从而导致连接部在输出端一侧的光信号发生变化。通过探测该变化，实现针对压力的探测。由于介质的有效折射率严重地依赖于介质的形貌，因此该发明具有灵敏度高等优点。

技术领域

本发明涉及传感器技术领域，具体涉及一种压力传感器。

背景技术

压力探测在工程实践中具有重要的应用价值。压力传感器是一种能感受压力信号，并将压力信号转换成电信号或其他类型信号的装置。常见的压力传感器有压阻式压力传感器、陶瓷压力传感器、压电式压力传感器、蓝宝石压力传感器等，这些压力传感器探测灵敏度低。压力传感器具有灵敏度高等优点。例如，授权公告号为CN207881870U的实用新型专利公布了一种压力探测技术方案：在具有脊形波导阵列的基底上溅射薄膜，在入射光的激发下，在薄膜上形成Gap-SPP模式，压力使基底发生形变，进而改变阵列之间的缝隙大小，进而改变SPP波长改变，将压力转换为光学信号。在这种方案中，施加压力的方向与入射光的方向相同，也就是说压力从器件上面施加，入射光也从上面施加，实际使用操作不变。

发明内容

针对上述问题，本发明提供了一种压力传感器，该压力传感器包括衬底、输入端、输出端，输入端和输出端置于衬底上，输入端和输出端材料相同，输入端和输出端之间设置有连接部，连接部分为下连接部和上连接部，下连接部置于衬底上，上连接部置于下连接部的上方，所述上连接部为柔性透明材料。

所述输入端、输出端、下连接部材料相同。

所述输入端、输出端、下连接部的材料为二氧化硅。

所述上连接部的高度大于输入端和输出端的高度。

所述连接部有两处，两连接部间设有与输入端和输出端相同材料的中间部。

所述两处连接部中上连接部的高度不同。

所述上连接部的顶部设有贵金属颗粒。

所述贵金属颗粒为金。

所述贵金属颗粒的直径为20nm-100nm。

本发明的有益效果：本发明提供的这种压力传感器，通过在输入端和输出端之间设置两光通道，光下连接部和上连接部通过后，在输出端叠加，通过测量叠加后光波的信息，判断压力大小。此外，本发明还在输入端和输出端间设置两个连接部,在两上连接部的上面施加压力，通过探测两连接部间的耦合，判断压力大小。具有使用方便、探测灵敏度高等优点。

以下将结合附图对本发明做进一步详细说明。

附图说明

图1是压力传感器示意图一。

图2是基于光纤结构的气体探测器示意图二。

图3是基于光纤结构的气体探测器示意图三。

图中：1、输入端；2、输出端；3、连接部；31、下连接部；32、上连接部；4、中间部；5、贵金属颗粒。

具体实施方式

为进一步阐述本发明达成预定目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及实施例对本发明的具体实施方式、结构特征及其功效，详细说明如下。

实施例1