[发明专利]光照射装置、光学评估装置和物品制造方法

说明书

本公开内容涉及光照射装置、光学评估装置和物品制造方法。一种用于用光照射物体的光照射装置，包括：多个线状遮光器，其以预定的中心至中心间隔布置，并且被配置为至少部分地阻挡光；以及多个线状光照射器，其被布置为与多个遮光器中的一些重叠，以便用光照射物体。多个光照射器被布置为形成不小于多个遮光器的中心至中心间隔的两倍的周期。

技术领域

本发明涉及光照射装置、光学评估装置和物品制造方法。

背景技术

日本专利第5994419号描述了一种检查装置，其在用具有周期性变化的亮度的光照射待检查物体的同时对该物体进行成像，计算所获得的图像的周期性亮度变化的振幅值等，并且通过使用振幅值等检测缺陷。在日本专利第5994419号中描述的该检查装置中，用于用光照射待检查物体的照明设备在诸如LCD的显示设备上显示条纹图案光，并用该条纹图案光照射物体。可替换地，照明设备通过使用投影仪将条纹图案光投影到屏幕上，并用屏幕反射的条纹图案光照射待检查物体。

诸如日本专利第5994419号中描述的检查装置的光学评估装置使用包括诸如LCD的显示设备的照明设备或包括投影仪和屏幕的照明设备，并且像这样的照明设备是不透光的非透射型设备。因此，为了通过使用成像设备对形成在待检查物体上的条纹图案进行成像，必须布置照明设备以便不阻挡成像设备的视野，这可能会增加光学评估装置的尺寸。特别是当待检查物体的检查目标区域是曲面时，需要大的照明设备来立即对来自整个检查目标区域的规则反射光进行成像。这可能造成光学评估装置的尺寸进一步增大的问题。

发明内容

本发明提供了一种有利于减小光学评估装置的尺寸的技术。

根据本发明的第一方面，提供一种用于用光照射物体的光照射装置，所述光照射装置包括：多个线状遮光器，以预定的中心至中心间隔布置，并被配置为至少部分地阻挡光；以及多个线状光照射器，被布置为与多个遮光器中的一些重叠，以便用光照射物体，其中，多个光照射器被布置为形成不小于多个遮光器的中心至中心间隔的两倍的周期。

根据本发明的第二方面，提供一种光学评估装置，所述光学评估装置包括：如本发明的第一方面限定的光照射装置；成像器，被配置为通过多个遮光器之间的开口，对由光照射装置用光照射的物体进行成像；驱动器，被配置为在与多个遮光器中的每个遮光器的长边方向相交的方向上移动多个遮光器和多个光照射器；以及图像处理器，被配置为基于由成像器捕获的多个图像来评估物体。

根据本发明的第三方面，提供一种物品制造方法，所述物品制造方法包括：通过使用如本发明的第二方面限定的光学评估装置来评估物品；以及执行与对物品的评估结果相应的处理。

根据下面参照附图对示例性实施例的描述，本发明的其他特征将变得清晰。

附图说明

图1A和图1B是示出本发明实施例的光照射装置的布置的图；

图2是示出本发明实施例的光学评估装置的布置的图；

图3A至图3D是用于解释在扫描光照射装置的同时通过成像设备进行曝光的效果的图；

图4是示出本发明实施例的光学评估装置的操作的流程图；以及

图5是示出多个周期元件的中心至中心间隔P_o与多个遮光器的中心至中心间隔P_m的比率(P_o/P_m)与图像强度的不均匀性之间的关系的曲线图。

具体实施方式

下面将参照附图通过其示例性实施例解释本发明。

图1A和图1B示意性地示出了本发明实施例的光照射装置10的布置。光照射装置10被配置为用光照射物体11。图1A是示出从光照射装置10要用光照射的物体11观察的光照射装置10的图。图1B是光照射装置10的截面图或侧视图。