[发明专利]耐磨工件及其表面处理方法在审
申请号: | 201910588271.6 | 申请日: | 2019-07-02 |
公开(公告)号: | CN110230027A | 公开(公告)日: | 2019-09-13 |
发明(设计)人: | 张行;倪雪辉;何正林;黄起建;陈龙龙 | 申请(专利权)人: | 珠海格力电器股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/02;C23C14/16;C23C14/35;C23C16/02;C23C16/26;C23C16/513 |
代理公司: | 珠海智专专利商标代理有限公司 44262 | 代理人: | 林永协;钟意华 |
地址: | 519070*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 耐磨工件 剥落 耐摩擦性能 表面改性技术 表面性能 管材加工 大影响 缓冲层 结合性 碳单质 沉积 附着 裸露 保证 | ||
1.耐磨工件,包括基体,其特征在于:
所述基体的表面上依次沉积有钨缓冲层、第一类金刚石镀膜层和第二类金刚石镀膜层,所述第一类金刚石镀膜层的SP3键含量小于所述第二类金刚石镀膜层的SP3键含量。
2.根据权利要求1所述的耐磨工件,其特征在于:
所述钨缓冲层的厚度为0.2微米至0.8微米。
3.根据权利要求1所述的耐磨工件,其特征在于:
所述钨缓冲层的厚度为0.5微米。
4.根据权利要求1所述的耐磨工件,其特征在于:
所述第一类金刚石镀膜层的厚度为1.4微米至1.6微米。
5.根据权利要求1所述的耐磨工件,其特征在于:
所述第二类金刚石镀膜层的厚度为0.9微米至1.1微米。
6.根据权利要求1至5任一项所述的耐磨工件,其特征在于:
所述第一类金刚石镀膜层的SP3键含量为45%至55%,所述第二类金刚石镀膜层的SP3键含量为45%至75%。
7.根据权利要求6所述的耐磨工件,其特征在于:
所述第一类金刚石镀膜层的SP3键含量为50%至55%。
8.根据权利要求6所述的耐磨工件,其特征在于:所述第二类金刚石镀膜层的SP3键含量为65%至70%。
9.如权利要求1至8任一项所述耐磨工件的表面处理方法,其特征在于,步骤包括:
在所述基体的表面上沉积所述钨缓冲层;
在所述钨缓冲层上沉积所述第一类金刚石镀膜层;
在所述第一类金刚石镀膜层上沉积所述第二类金刚石镀膜层。
10.根据权利要求9所述的表面处理方法,其特征在于:
在沉积所述钨缓冲层之前对所述基体表面进行前处理;
所述前处理步骤包括:将所述机体表面打磨抛光,将所述基体表面清洗干净,将所述基体在惰性气体或氮气环境下吹干。
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