[发明专利]探针卡及探针台

权利要求书

1.一种探针卡，其特征在于，包括：

电路板；

多个探针，与所述电路板连接，所述探针包括至少一个第一探针和至少一个第二探针；

偏移部，与多个所述探针耦合，响应于所述第一探针加载有或者将加载测量信号而所述第二探针未加载或者未将加载测量信号，所述偏移部能够移动所述第一探针和/或所述第二探针，以使所述第一探针的先端比所述第二探针的先端更加远离所述电路板的所在平面。

2.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述偏移部包括分析装置和驱动装置，所述分析装置与所述探针以及所述驱动装置分别耦合，

若所述分析装置确定所述探针加载有或者将加载测量信号，所述驱动装置驱动所述探针移动至远离所述电路板所在平面的位置；或者，

若所述分析装置确定所述探针未加载或者未将加载测量信号，所述驱动装置驱动所述探针移动至靠近所述电路板所在平面的位置。

3.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，由所述驱动装置驱动的所述探针的移动具有多段行程。

4.如权利要求3所述的探针卡，其特征在于，所述多段行程中每段行程的长度为5-20μm。

5.如权利要求1或4所述的探针卡，其特征在于，所述探针的先端长度为350-520μm。

6.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述探针卡还包括

激光位移传感器，与所述探针的先端耦合；

处理器，与所述激光位移传感器通信耦合，能够根据所述激光位移传感器的测量结果，确定所述探针的先端的长度变化。

7.如权利要求6所述的探针卡，其特征在于，所述处理器与所述偏移部通信耦合，能够根据所述探针的先端的长度变化，移动所述探针，以补偿所述先端的长度变化。

8.如权利要求1-4、6、7中任一项所述的探针卡，其特征在于，所述探针卡为悬臂式探针卡或者垂直式探针卡。

9.一种探针台，其特征在于，所述探针台包括如权利要求1-8中任一项所述的探针卡。

10.如权利要求9所述的探针台，其特征在于，所述探针台在进行测量时，由所述第一探针触压待测物的导电接点，而所述第二探针远离待测物的导电接点。