[发明专利]真空干燥装置在审
申请号: | 201910586041.6 | 申请日: | 2019-07-01 |
公开(公告)号: | CN110328975A | 公开(公告)日: | 2019-10-15 |
发明(设计)人: | 毕研亮 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | B41J11/00 | 分类号: | B41J11/00 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 承载平台 容置空间 基板 真空干燥装置 定位件 引流板 通孔 像素 墨水 挥发性溶剂 承载基板 基板表面 平整度 壳体 膜面 蒸汽 匹配 | ||
一种真空干燥装置,包括壳体,具有容置空间;承载平台,设置于所述容置空间内,用于承载基板,所述基板上具有像素墨水及挥发性溶剂;定位件,设置于所述承载平台上,用于固定所述基板的位置;以及引流板,设置于所述容置空间内,具有多个通孔。本发明利用设置于所述承载平台上的定位件,固定所述基板的位置及角度,使所述基板表面像素墨水的位置能够精准匹配所述引流板通孔的位置,从而使整体的蒸汽浓度趋于一致,提高膜面平整度。
【技术领域】
本揭示涉及显示技术领域,特别涉及一种用于显示面板的真空干燥装置。
【背景技术】
OLED(Organic Light Emitting Diode)具有良好的自发光特性以及高对比度,目前是显示器件的重要研究和发展方向,并在小尺寸和大尺寸等方面的应用均取得显着成效。另一方面,由于显示器的发展方向逐渐向曲面、可弯曲、窄边框等方面转变,高的屏占比成为手机、平板、显示器、电视机等方面应用的重要关注点。
OLED的生产过程中,利用喷墨打印(Inkjet printing,IJP)的方式将像素墨水打印在像素电极层上,然后进行干燥成膜。膜面干燥成膜是保证膜面平整,器件发光均匀的重要手段,真空干燥(Vacuum dry,VCD)设备是对膜面平整度提高的关键步骤。但由于产品具有多样性,不同产品的基板尺寸不同,以及每次放置基板的角度、位置都是随机放置,因此在干燥设备中,每次处理时基板各处表面的蒸汽浓度不均一,易造成膜面不均匀而产生色彩显示不均匀(mura)的问题。
【发明内容】
为解决上述技术问题,本发明的一目的在于提供一种设备,在膜面干燥成膜过程中,可维持蒸汽压浓度均一,以提高膜面平整度。
为达成上述目的,本发明提供一种真空干燥装置,所述真空干燥装置包括:壳体,具有容置空间及管路,所述管路连通所述容置空间与所述壳体的外部;承载平台,设置于所述容置空间内,用于承载基板,所述基板上具有像素墨水及挥发性溶剂;定位件,设置于所述承载平台上,用于固定所述基板的位置;以及引流板,设置于所述容置空间内,具有多个通孔,其中所述像素墨水的位置对应所述通孔的位置。
于本发明的一实施例中,所述定位件为可拆式。
于本发明的一实施例中,所述承载平台上具有定位孔;所述定位件具有插栓,用以插入所述定位孔中。
于本发明的一实施例中,所述定位孔设于承载平台上不规则的预定位置。
于本发明的一实施例中,所述定位孔呈矩阵排列。
于本发明的一实施例中,所述承载平台上具有凹槽;所述定位件具有本体,用以放置于所述凹槽中。
于本发明的一实施例中,所述定位件的可承受温度大于或等于200℃。
于本发明的一实施例中,所述定位件的高度小于5mm。
于本发明的一实施例中,一个所述像素墨水对应一个所述通孔。
于本发明的一实施例中,进一步包括遮蔽件,设置于引流板上。
综上所述,本发明提供一种真空干燥装置,利用设置于所述承载平台上的定位件,固定所述基板的位置及角度,使基板表面像素墨水的位置能够精准匹配所述引流板通孔的位置,进而使整体的蒸汽浓度趋于一致,从而使膜面均一,避免mura发生。其次,所述定位件为可拆式,可设置于所述承载平台上,或从所述承载平台上拆除,如此可适用于多种不同尺寸的基板,不需使用多种尺寸的承载平台,从而降低成本。另外,藉由在所述引流板设置遮蔽件,减少蒸汽从旁边的通孔排出,而仅由像素墨水正上方的通孔排出,从而使膜面上方蒸汽浓度均一,最终的干燥膜面平整度更高。
为让本揭示的上述内容能更明显易懂,下文特举优选实施例,并配合所附图式,作详细说明如下。
【附图说明】
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