[发明专利]合金化合物薄膜的分立式多热丝沉积方法及装置在审
| 申请号： | 201910585933.4 | 申请日： | 2019-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN110318035A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 麦耀华;朱红兵 | 申请（专利权）人： | 暨南大学 |
| 主分类号： | C23C16/30 | 分类号： | C23C16/30;C23C16/44 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 黄媛君 |
| 地址： | 510632 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 热丝 薄膜 沉积方法及装置 多元金属化合物 合金化合物 金属化合物 反应气体 真空腔 室内 制备 金属化合物薄膜 电致变色器件 超级电容器 光电传感器 衬底基板 抽成真空 加热真空 外部电源 真空腔室 加热源 晶体管 沉积 加热 升华 应用 | ||
1.合金化合物薄膜的分立式多热丝沉积方法，其特征在于，包括如下步骤：
将真空腔室抽成真空；
由外部电源加热真空腔室内的两条或多条热丝；
真空腔室内通入至少一种反应气体；
反应气体与热丝表面发生反应形成金属化合物；
控制热丝加热温度使金属化合物升华并沉积到位于真空腔室内的衬底基板表面，从而形成金属化合物薄膜。
2.根据权利要求1所述的合金化合物薄膜的分立式多热丝沉积方法，其特征在于，所述热丝由单一金属材料或多元合金材料制成。
3.根据权利要求1或2所述的合金化合物薄膜的分立式多热丝沉积方法，其特征在于，两条或多条热丝组成一组，多组热丝通过并联或串联的方式连接。
4.根据权利要求1或2所述的合金化合物薄膜的分立式多热丝沉积方法，其特征在于，不同热丝采用分立式加热电源进行加热。
5.根据权利要求1所述的合金化合物薄膜的分立式多热丝沉积方法，其特征在于，真空腔室由真空抽气系统抽至真空。
6.根据权利要求1所述的合金化合物薄膜的分立式多热丝沉积方法，其特征在于，所述反应气体为O2、N2、H2S、H2Se或者CF4。
7.合金化合物薄膜的分立式多热丝沉积装置，其特征在于，包括真空腔室、与真空腔室连接的气体供应系统和真空抽气系统，以及位于真空腔室内的两条或多条热丝、衬底基板；所述热丝相互平行安装在两个热丝支撑架上；所述热丝通过加热电源连接线与外部电源连接。
8.根据权利要求7所述的合金化合物薄膜的分立式多热丝沉积装置，其特征在于，所述衬底基板可通过衬底加热器进行加热。
9.根据权利要求7所述的合金化合物薄膜的分立式多热丝沉积装置，其特征在于，所述热丝与加热电源连接线的同时连接在电极连接件上。
10.根据权利要求7所述的合金化合物薄膜的分立式多热丝沉积装置，其特征在于，所述真空抽气系统为机械泵和涡轮分子泵。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
