[发明专利]匀胶机吸盘

权利要求书

1.一种匀胶机吸盘，其特征在于，所述匀胶机吸盘用来处理基片，所述基片的直径大于等于6英寸，所述匀胶机吸盘包括：

吸纳部，所述吸纳部用于吸附所述基片，所述吸纳部上设有多个相连通的吸附气道，所述吸附气道包括多个第一气道和多个第二气道，多个所述第一气道沿所述吸纳部的径向间隔设置，多个所述第二气道分别连通多个所述第一气道，所述第二气道连接有抽气口；多个所述第一气道呈环形，环形的多个所述第一气道彼此相套设置，多个所述第二气道沿所述吸纳部的径向延伸，至少两个所述第二气道连通所有的所述第一气道；所述抽气口设在所述吸纳部的中心处，所述第二气道在远离所述抽气口的方向上宽度逐渐变大；

支撑连接部，所述吸纳部设于所述支撑连接部上，所述吸纳部在所述支撑连接部上的投影面积小于所述支撑连接部的面积，所述第一气道和所述第二气道的上表面与所述支撑连接部的上表面平齐，所述支撑连接部用于支撑所述基片，所述支撑连接部包括阶梯部，所述阶梯部包括第一台阶面和第二台阶面，所述第一气道和所述第二气道与所述第一台阶面的上表面平齐，所述第二台阶面低于所述第一台阶面；

所述基片在所述支撑连接部上的投影落在所述第一台阶面外且落在所述第二台阶面内。

2.根据权利要求1所述的匀胶机吸盘，其特征在于，环形的所述第一气道围绕所述抽气口同心设置，多个所述第二气道的外端连通最外圈的所述第一气道，多个所述第二气道的内端连通所述抽气口。

3.根据权利要求1所述的匀胶机吸盘，其特征在于，所述第一气道的宽度为0.5～1.5mm，相邻两个所述第一气道之间的间距为2～10mm，所述第二气道的宽度为1.5～3mm。

4.根据权利要求1所述的匀胶机吸盘，其特征在于，所述支撑连接部包括转动配合部，所述转动配合部的内部形成安装腔，所述安装腔连通所述抽气口。

5.根据权利要求4所述的匀胶机吸盘，其特征在于，所述转动配合部的下端形成周向定位槽，

所述匀胶机吸盘还包括驱动装置，所述驱动装置的驱动部配合在所述安装腔内，且所述驱动部限位在所述周向定位槽中，所述驱动装置带动所述吸纳部和所述支撑连接部旋转运动。

6.根据权利要求4所述的匀胶机吸盘，其特征在于，所述匀胶机吸盘还包括抽气泵，所述抽气泵的抽气管伸入所述安装腔并连接所述抽气口。

7.根据权利要求1所述的匀胶机吸盘，其特征在于，所述吸纳部和所述支撑连接部的表面涂覆一层防腐材料层，所述防腐材料层为聚四氟乙烯层、酚醛树脂层、环氧树脂层或过氯乙烯层的一种。

8.根据权利要求1所述的匀胶机吸盘，其特征在于，所述匀胶机吸盘还包括壳体，所述壳体内形成涂胶腔，所述吸纳部和所述支撑连接部可转动地设在所述涂胶腔内。