[发明专利]一种整体叶轮的绿色环保混合化学机械抛光液与抛光方法

权利要求书

1.一种整体叶轮的绿色环保混合化学机械抛光液，其特征在于：该绿色环保混合化学机械抛光液包括氧化剂、pH调节剂、添加剂、去离子水和混合磨料；

所述氧化剂为30wt％过氧化氢溶液和/或20wt％过氧乙酸溶液，其在抛光液中含量为250～400ml/L；

所述pH调节剂为谷氨酸晶体和/或85wt％磷酸溶液，调控抛光液的pH为1.5～3.1；

所述添加剂包括三聚磷酸钠晶体，其在抛光液中含量为5～9g/L，还包括月桂酰基谷氨酸晶体，其在抛光液中含量为5～10g/L；

所述磨料包括多边形陶瓷磨粒和碳化硅磨粒，其中碳化硅磨粒粒径为150μm，其在抛光液中的含量为0.45～1.5g/ml；多边形陶瓷磨粒粒径大小为1000～2500μm，其在抛光液中的含量为1.1～3.0g/ml。

2.一种用绿色环保混合化学机械抛光液的整体叶轮的抛光方法，其特征在于：整体叶轮在绿色环保混合化学机械抛光液中绕自身轴线做旋转运动，通过绿色环保混合化学机械抛光液的化学与物理耦合作用，将其表面各部位的刀痕纹路去除；具体步骤如下：

(1)低速启动整体叶轮，使旋转速度控制在7～15rpm，时间为5～10min；

(2)绿色环保混合化学机械抛光液将整体叶轮完全浸没，然后调节整体叶轮转速，使其高速旋转抛光，旋转速度为110～180rpm，抛光时间为50～80min；抛光结束后，停止整体叶轮运动，并将其取出，用清水冲洗，擦干；检测。