[发明专利]超声波接合头、超声波接合装置及超声波接合方法有效
| 申请号: | 201910573891.2 | 申请日: | 2019-06-28 |
| 公开(公告)号: | CN110660692B | 公开(公告)日: | 2023-08-15 |
| 发明(设计)人: | 须永诚寿郎;宫腰敏畅;大友龙矩 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
| 主分类号: | H01L21/607 | 分类号: | H01L21/607;B29C65/08;B06B3/02 |
| 代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 超声波 接合 装置 方法 | ||
本发明提供实现装置的小型化并可进行良好的超声波接合的超声波接合头、超声波接合装置及超声波接合方法。超声波接合头(40)具有:振子单元(50),在长边轴的前端侧形成有被推到应接合的接合预定部分的按压部(52a);保持部(60),以沿着长边轴振子单元的前端成为自由端的方式,沿着振子单元的长边轴以悬臂梁状保持基端侧;加压轴(80),以振子单元沿着与长边轴大致垂直的垂直轴移动的方式与保持部(62)连结,传递将按压部(52a)压附到接合预定部的力。在保持部(60)具备在处于从保持部保持振子单元的主保持位置沿着长边轴(X)朝向振子单元的自由端的中途的反作用力分散位置上与振子单元抵接的抑制部(90)。
技术领域
本发明涉及超声波接合头、超声波接合装置及超声波接合方法。
背景技术
已知有例如专利文献1所示的超声波接合装置。在该超声波接合装置中,保持超声波变幅杆的长边方向的两侧,在变幅杆的中央部具备的按压部被压附到接合预定部分并进行超声波接合。
在这种现有的超声波接合装置中,为了增大按压部的超声波振动,需要增加超声波变幅杆的长度,具有装置整体变大这样的技术问题。另外,由于超声波变幅杆的保持部处于两侧,所以由于这些保持部,有可能阻碍超声波振动。
另外,研究将成为显示画面基板的玻璃基板的配线与柔性配线基板(FPC)等进行超声波接合,但在现有的超声波接合装置中,为了保持超声波变幅杆的两侧,装置变得过大,从而不实用。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2002-222834号公报
发明内容
本发明鉴于这种实际状况而完成,其目的在于,提供实现装置的小型化并可进行良好的超声波接合的超声波接合头、超声波接合装置及超声波接合方法。
为了实现上述目的,本发明的第一观点所涉及的超声波接合头,具有:
振子单元,在长边轴的前端侧形成有被推到应接合的接合预定部分的按压部;
保持部,其以所述振子单元的前端沿着所述长边轴成为自由端的方式沿着所述振子单元的所述长边轴以悬臂梁状保持基端侧;
加压轴,其以所述振子单元沿着与所述长边轴大致垂直的垂直轴移动的方式与所述保持部连结,传递将所述按压部压附到所述接合预定部的力,
在所述保持部具备在处于从所述保持部保持所述振子单元的主保持位置沿着所述长边轴朝向所述振子单元的自由端的中途的反作用力分散位置上与所述振子单元抵接的抑制部。
在本发明所涉及的超声波接合头中,因为对于包含超声波变幅杆(horn)的振子单元,保持部以悬臂梁状沿着长边轴保持基端侧,所以能够增大按压部中的超声波振动,而且,与从两侧保持振子单元的情况相比,可以实现装置的小型化。
另外,在本发明的超声波接合头中,在保持部具备在处于沿着长边轴朝向振子单元的自由端的中途的反作用力分散位置上与振子单元抵接的抑制部。因此,能够由抑制部接受在振子单元的自由端具备的按压部被压附到接合预定部的加压力的反作用力的一部分,抑制了振子单元的弯曲变形。其结果,能够增加加压轴的加压力,按压部中对接合预定部的压力变高,可进行良好的超声波接合。另外,也能够扩大接合部的宽度,平板状部件彼此的超声波接合也变得容易。
优选,抑制部被安装于所述保持部,使得在距振子单元的自由端最近的振动节点的位置上抑制部与振子单元抵接。通过这样构成,可以由抑制部接受的加压力的反作用力增大,有效地抑制了振子单元的弯曲变形。其结果,能够增大加压轴的加压力,按压部中的对接合预定部的压力变高,超声波接合的可靠性提高。另外,也能够扩大接合部的宽度,平板状部件彼此的超声波接合也变得更容易。
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