[发明专利]一种基于高品质因数全介质超表面的折射率传感器及应用

权利要求书

1.一种基于高品质因数全介质超表面的折射率传感器，其特征在于，包括透明衬底以及呈周期性阵列分布于透明衬底表面的超表面结构，该超表面结构采用全介质材料，为亚波长厚度；

所述超表面结构呈周期性阵列分布于透明衬底表面的椭圆结构，且相邻两个椭圆结构的长轴不重合，且不平行；

所述超表面结构沿X轴和Y轴方向呈周期性阵列分布，相邻两个椭圆结构的长轴与X轴或Y轴之间的夹角均相等，且方向相反；

每个椭圆结构长轴直径为250～500nm，短轴直径为80～150nm，且Y向排列周期为600～800nm，X向排列周期为500～700nm；

工作波长为1微米以下；

其工作波段为近红外工作波段，超表面结构采用晶体硅；

所述超表面结构高度范围为100-600nm。

2.一种权利要求1所述的基于高品质因数全介质超表面的折射率传感器在检测环境折射率的应用。