[发明专利]一种基于介质纳米天线生物传感器、制备方法及应用

权利要求书

1.一种用于检测PMMA的基于介质纳米天线生物传感器，其特征在于，包括衬底，以及周期阵列布置于所述衬底上的电介质材料，该电介质材料选自硅、锗、碲以及四六族含铅化合物中的一种或多种；

所述电介质材料呈圆形布置；

传感器的工作波长为中红外波段，范围为2微米-10微米；

阵列周期为3000~5000 nm、直径1500~3500 nm、厚度为150~400 nm。

2.根据权利要求1所述的基于介质纳米天线生物传感器，其特征在于，所述衬底为氟化钙。

3.根据权利要求1所述的基于介质纳米天线生物传感器，其特征在于，检测时，将待检测样品涂覆于所述传感器的电介质材料表面。

4.一种权利要求1~3任一项所述的基于介质纳米天线生物传感器的制备方法，其特征在于，利用电子束光刻方法在衬底上制作所述电介质材料。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，通过FDTD仿真，确定传感器的最优参数。