[发明专利]用于感应位置编码器的标尺构造有效
申请号: | 201910572670.3 | 申请日: | 2019-06-28 |
公开(公告)号: | CN110657826B | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
发明(设计)人: | T.S.库克;J.A.希契曼;加藤庆显 | 申请(专利权)人: | 株式会社三丰 |
主分类号: | G01D5/14 | 分类号: | G01D5/14 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 贺紫秋 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 感应 位置 编码器 标尺 构造 | ||
1.一种电子位置编码器,能用于沿测量轴线方向测量两个元件之间的相对位置,该电子位置编码器包括:
标尺,沿测量轴线方向延伸,其包括周期性标尺图案,所述周期性标尺图案至少包括第一类型的信号调制元件,其中周期性标尺图案具有空间波长W1,且第一类型的信号调制元件包括对应于空间波长W1沿测量轴线方向定位的相似的导电板或相似导电环路;
检测器部分,配置为安装在周期性标尺图案附近且沿测量轴线方向相对于周期性标尺图案运动,检测器部分包括:
磁场产生线圈,固定在基板上,磁场产生线圈围绕内部区域,该内部区域在操作期间对准信号调制元件的周期性标尺图案,磁场产生线圈响应于线圈驱动信号在内部区域中产生变化磁通量;和
一组传感元件,沿测量轴线方向布置且固定在基板上,该组传感元件的构件包括导电环路或导电环路部分,所述导电环路或导电环路部分对于与内部区域对准或重叠的传感元件部分具有沿测量轴线方向的额定传感元件宽度尺寸DSEN,其中该组传感元件配置为提供检测器信号,该检测器信号对通过标尺图案的邻近信号调制元件提供的变化磁通量上的局部效应做出响应;和
信号处理结构,其操作地连接到检测器部分以提供线圈驱动信号,且基于从检测器部分输入的检测器信号确定检测器部分和标尺图案之间的相对位置,
其中:
第一类型的信号调制元件包括在操作期间与内部区域对准或重叠的有效区域,且有效区域具有沿测量轴线方向的平均尺寸DSME,其中DSME大于DSEN,且DSME至少为0.55×W1且最大为0.8×W1;
第二类型的信号调制元件沿测量轴线方向位于第一类型的信号调制元件之间,且配置为与第一类型的信号调制元件相比对变化磁通量具有相对更小的影响。
2.如权利要求1所述的电子位置编码器,其中平均尺寸DSME最大为1.6×DSEN。
3.如权利要求1所述的电子位置编码器,其中0.45×W1DSEN0.55×W1。
4.如权利要求1所述的电子位置编码器,其中平均尺寸DSME至少为0.6×W1。
5.如权利要求1所述的电子位置编码器,其中第一类型的信号调制元件包括相似导电板。
6.如权利要求1所述的电子位置编码器,其中第二类型的信号调制元件包括以下中的至少一个:a)非导电材料区域,或b)非导电标尺基板区域,其中第一类型的信号调制元件固定在非导电标尺基板上。
7.如权利要求1所述的电子位置编码器,其中检测器部分和标尺包括近似平面的基板且检测器部分配置为平行于周期性标尺图案安装,在其相应导体之间具有至少为0.075×W1的额定操作间隙。
8.如权利要求1所述的电子位置编码器,其中传感元件的导电环路或导电环路部分包括垂直于测量轴线方向且配置为对准或重叠内部区域的平行的导体段,且所述平行的导体段沿测量轴线方向按额定传感元件宽度尺寸DSEN间隔开。
9.如权利要求1所述的电子位置编码器,其中第一类型的信号调制元件的相似导电板或相似导电环路分别包括平行的板边缘或平行的导电环路段,所述平行的板边缘或平行的导电环路段垂直于测量轴线方向且界定出它们的有效区域,且这些平行的板边缘或平行的导电环路段沿测量轴线方向按平均尺寸DSME间隔开。
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