[发明专利]插片机用水系统

说明书

本发明涉及一种插片机用水系统，其包括缓存水箱；自来水供水通道，可为所述缓存水箱供水；插片水槽；侧喷通道；具有侧喷口，所述侧喷口位于所述插片水槽内；水泵，用以将所述缓存水箱中的水泵入所述侧喷通道；排污通道，用以排出所述插片水槽内的污水；以及自来水稀释通道，用以输送水至所述插片水槽内。上述插片机用水系统，通过设置自来水稀释通道输送水至插片水槽内，降低插片水槽内的污水浓度，缓解污水内的脏污对侧喷通道的侧喷口的堵塞，进而减少对侧喷通道的侧喷口进行清理的时间，提高插片机的插片效率。

技术领域

本发明涉及插片机领域，特别是涉及一种插片机用水系统。

背景技术

插片机用以在硅片清洗前将硅片装入清洗花篮中。在此过程中，一般通过侧喷通道对准硅片的两侧进行喷水，以使得硅片在水的作用下与相邻的硅片分离，进而避免在插片过程中出现双片或连片的现象。

然而,在插片机运行过程中，侧喷通道的侧喷口处容易堵塞。此时需使得插片机停止工作，以对侧喷通道的侧喷口进行清理，影响插片机的插片效率。

发明内容

基于此，有必要针对提供一种可以有效避免侧喷通道的侧喷口堵塞的插片机用水系统。

一种插片机用水系统，包括：

缓存水箱；

自来水供水通道，可为所述缓存水箱供水；

插片水槽；

侧喷通道；具有侧喷口，所述侧喷口位于所述插片水槽内；

水泵，用以将所述缓存水箱中的水泵入所述侧喷通道；

排污通道，用以排出所述插片水槽内的污水；以及

自来水稀释通道，用以输送水至所述插片水槽内。

上述插片机用水系统，通过设置自来水稀释通道输送水至插片水槽内，降低插片水槽内的污水浓度，缓解污水内的脏污对侧喷通道的侧喷口的堵塞，进而减少对侧喷通道的侧喷口进行清理的时间，提高插片机的插片效率。

在其中一个实施例中，还包括：

第一浓度监测装置，用以监测所述插片水槽内的污水浓度；

第一电磁阀，设于所述自来水稀释通道上；以及

控制系统，可接收所述第一浓度监测装置的监测信息并判断所述插片水槽内的污水是否需要稀释；所述控制系统在判断所述插片水槽内的污水需要稀释时，控制所述第一电磁阀打开；所述控制系统在判断所述插片水槽内的污水不需要稀释时，控制所述第一电磁阀关闭。

在其中一个实施例中，所述第一浓度监测装置为水质检测器或浓度检测器。

在其中一个实施例中，还包括：

第一水净化装置，用以净化所述插片水槽内的污水；

第一水净化通道，用以将所述插片水槽内的污水输送至所述第一水净化装置；以及

第一净化水输送通道，用以将所述第一水净化装置净化的水输送至所述插片水槽。

在其中一个实施例中，还包括：

第二水净化装置，用以净化所述插片水槽内的污水；

第二水净化通道，用以将所述插片水槽内的污水输送至所述第二水净化装置；以及

第二净化水输送通道，用以将所述第二水净化装置净化的水输送至所述缓存水箱。

在其中一个实施例中，还包括：

第二电磁阀，设于所述第二水净化通道上；

第三电磁阀，设于所述排污通道上；