[发明专利]金属掩膜条、掩膜板框架、金属掩膜板及其焊接方法有效
申请号: | 201910569996.0 | 申请日: | 2019-06-27 |
公开(公告)号: | CN110129723B | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 罗昶;嵇凤丽;吴建鹏;杨晓宇 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 杨广宇 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属 掩膜条 掩膜板 框架 及其 焊接 方法 | ||
本发明公开了一种金属掩膜条、掩膜板框架、金属掩膜板及其焊接方法,属于显示技术领域。该金属掩膜条包括第一焊接区域、第二焊接区域以及在第一焊接区域和第二焊接区域间的图形区域,同时在第一焊接区域与图形区域间以及第二焊接区域与图形区域间分别具有可弯折区域;掩膜板框架具有相对的顶面和底面,在掩膜板框架的中部具有贯穿顶面和底面的镂空,该掩膜板框架还包括分别位于镂空的相对两侧的第一焊接区域和第二焊接区域,且第一焊接区域和第二焊接区域均位于顶面和底面之间。通过可弯折区域,可展平金属掩膜条的褶皱,同时使焊点高度低于掩膜板框架顶面,消除了金属掩膜板与衬底间的空隙,提高镀膜精度;衬底与焊点无接触,不会使衬底损坏。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种金属掩膜条、掩膜板框架、金属掩膜板及其焊接方法。
背景技术
目前,金属掩膜板广泛应用于有机发光二极管(英文Organic Light-EmittingDiode,简称OLED)显示面板的制作中。
在OLED显示面板的制作过程中,采用金属掩膜板对衬底的表面进行遮挡,然后采用溅射或者蒸发工艺处理镀膜材料,使得镀膜材料穿过金属掩膜板的镂空部分,沉积在衬底的表面,得到图形化的膜层。
金属掩膜板包括掩膜板框架(英文Frame)和金属掩膜条(英文Metal Mask),在使用时需要先通过张网和焊接等步骤将金属掩膜条固定到掩膜板框架上。例如,采用机械夹手(英文Gripper)夹住金属掩膜条的两端,然后拉伸金属掩膜条,将金属掩膜条的焊接区域和掩膜板框架表面的焊接区域对位,通过激光焊接将金属掩膜条焊接在掩膜板框架上。
发明内容
本发明实施例提供了一种金属掩膜条、掩膜板框架、金属掩膜板及其焊接方法,可以减小金属掩膜条图形区域褶皱,避免衬底损坏。所述技术方案如下:
一方面,本发明实施例中提供了一种金属掩膜条,该金属掩膜条包括第一焊接区域、第二焊接区域以及在第一焊接区域和第二焊接区域之间的图形区域;
金属掩膜条还包括可弯折区域,第一焊接区域与图形区域之间以及第二焊接区域与图形区域之间分别具有可弯折区域。
在本发明的实施例的一种实现方式中,第一焊接区域与图形区域之间和第二焊接区域与图形区域之间中的至少一处具有两个可弯折区域;两个可弯折区域依次设置在图形区域和第一焊接区域之间,或者两个可弯折区域依次设置在图形区域和第二焊接区域之间。
在本发明的实施例的一种实现方式中,该金属掩膜条还包括第三焊接区域,第三焊接区域位于以下位置中的至少一处:
可弯折区域和第一焊接区域之间;
可弯折区域和第二焊接区域之间。
在本发明的实施例的一种实现方式中,可弯折区域具有区别于该金属掩膜条的其他区域的可视化特征。
另一方面,本发明实施例中提供了一种掩膜板框架,该掩膜板框架具有相对的顶面和底面,掩膜板框架的中部具有贯穿顶面和底面的镂空;
该掩膜板框架还包括第一焊接区域、第二焊接区域,第一焊接区域和第二焊接区域位于镂空的相对两侧;
第一焊接区域、第二焊接区域均位于顶面和底面之间。
本发明的实施例的一种实现方式中,该掩膜板框架还包括位于顶面和底面之间的第一斜面,第一斜面与顶面的第一夹角为钝角,第一焊接区域和第二焊接区域均位于第一斜面上。
本发明的实施例的一种实现方式中,第一斜面与顶面的第一夹角的度数范围在135-175度之间。
本发明的实施例的一种实现方式中,该掩膜板框架还包括第二斜面,第二斜面位于顶面和第一斜面之间,第一斜面和第二斜面的第一连接线与第二斜面和顶面的第二连接线相互平行。
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