[发明专利]一种电容传感器灵敏度大幅度调节方法

权利要求书

1.一种电容传感器灵敏度大幅度调节方法，其特征在于，所述电容传感器包括弹性基底，动片电极和定片电极，所述动片电极的自由端与弹性基底固定连接，所述定片电极与弹性基底固定连接，所述动片电极与定片电极间存在初始间隙d₀，通过给所述弹性基底施加拉应变，改变动片电极与定片电极间的初始间隙d₀，实现电容传感器灵敏度的大幅度调节。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述弹性基底的相对面设置夹持件，所述夹持件被配置为固定对所述弹性基底施加作用力的施力件。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述动片电极的自由端设置键合结点，所述动片电极通过键合结点与弹性基底粘接方式或键合方式连接。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述动片电极呈拱桥型或呈平面结构。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述定片电极的形状为圆形、椭圆形、多边形中至少一种。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述动片电极远离定片电极的表面设置基材。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述动片电极靠近定片电极的表面和/或所述定片电极靠近动片电极的表面设置绝缘层。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述电容传感器通过屈曲组装方式或3D打印技术加工成型。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述电容传感器采用平板、扭转式差分电容结构，平板、扭转式单个电容结构，平板、平动式差分电容结构，平板、平动式单个电容结构，梳齿式差分电容结构，梳齿式单个电容结构中的至少一种。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过单轴拉伸或多轴拉伸施加拉应变，改变动片电极与定片电极间的初始间隙d₀，实现电容传感器灵敏度的大幅度调节。