[发明专利]真空水冷散热系统及其散热方法

权利要求书

1.真空水冷散热系统，其特征在于，包括制冷系统、温控系统及分子涡轮泵，所述制冷系统包括冷却装置、循环液箱、管路装置及泵体，所述冷却装置与循环液箱连接，所述循环液箱及泵体均与管路装置连接，所述泵体设置于循环液箱的内部；所述温控系统包括控制板及传感器，所述控制板与制冷系统电性连接，所述控制板与传感器电性连接，所述传感器与分子涡轮泵电性连接。

2.如权利要求1所述真空水冷散热系统，其特征在于，所述管路装置包括有第一管路、第二管路及第三管路，所述第二管路的一端与第一管路连接，第二管路的另一端与第三管路连接，所述第一管路、第二管路、第三管路与循环液箱形成制冷回路，第二管路设置于所述分子涡轮泵的内部。

3.如权利要求2所述真空水冷散热系统，其特征在于，所述第二管路为冷凝管路，所述冷凝管路呈蜿蜒状排列分布在分子涡轮泵的内部。

4.如权利要求2至3中任一项所述真空水冷散热系统，其特征在于，所述循环液箱设有液体、出液口及进液口，所述液体位于循环液箱的内部，出液口与所述泵体连接，出液口还与所述第一管路连接，所述进液口与第三管路连接，所述泵体浸没于液体中。

5.如权利要求4所述真空水冷散热系统，其特征在于，所述控制板包括有温度检测器，所述温度检测器与冷却装置电性连接，所述温度检测器与循环液箱电性连接。

6.如权利要求5所述真空水冷散热系统，其特征在于，还包括有用于报警故障的警报装置，所述警报装置与控制板电性连接。

7.真空水冷散热方法，其特征在于，包括如下步骤：

真空水冷散热系统通电启动，控制板预先设置循环液箱的常规温度参数及极限温度参数；控制板预先设置冷却装置及分子涡轮泵的极限温度参数；

温度检测器实时检测循环液箱内部的温度，并转化为第一温度信息；

温度检测器实时检测冷却装置内部的温度，并转化为第二温度信息；

传感器实时检测分子涡轮泵内部的温度及流经第二管路的液体流量，并转化为相应的第三温度信息及流量信息，将第三温度信息及流量信息输送至控制板；

控制板对第一温度信息、第二温度信息、第三温度信息及流量信息进行数据分析。

8.如权利要求7所述真空水冷散热方法，其特征在于，所述数据分析的步骤如下：

当检测到的第一温度信息高于循环液箱的常规温度参数时，冷却开始，冷却装置对循环液箱进行冷却工作；

当冷却装置将循环液箱内的温度冷却至低于预设的温度参数时，冷却暂停，冷却装置暂时停止对循环液箱的冷却工作；

当满足第一温度信息高于循环液箱的极限温度参数、第二温度信息高于冷却装置的极限温度参数、第三温度信息高于分子涡轮泵的极限温度参数、流量信息出现波动异常中的任意一项及一项以上时，控制板发送警报信号至警报装置，警报装置收到警报信号后作出报警反应。

9.如权利要求8所述真空水冷散热方法，其特征在于，当检测到的第一温度信息高于循环液箱的常规温度参数但低于极限温度参数时，冷却装置对循环液箱进行冷却工作，该冷却工作的散热步骤如下：

泵体将循环液箱内部的液体从出液口处泵出，并使冷却后的液体流至第一管路，再通过第一管路流至第二管路，第二管路的液体由于温度差的原理吸收分子涡轮泵内部的温度，使分子涡轮泵内部的温度下降，第二管路的液体温度上升，温度上升后的液体流入第三管路，再由第三管路通过进液口流入循环液箱，冷却装置继续对温度上升后的液体进行常规的冷却工作。

10.如权利要求8所述真空水冷散热方法，其特征在于，所述极限温度参数的温度高于常规温度参数的温度。