[发明专利]一种钨和氮化钛金属薄膜的蚀刻液及其使用方法有效
| 申请号： | 201910544828.6 | 申请日： | 2019-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN110195229B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 李少平;张庭;贺兆波;王书萍;冯凯;尹印 | 申请（专利权）人： | 湖北兴福电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26;C09K13/08 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 成钢 |
| 地址： | 443007 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 金属 薄膜 蚀刻 及其 使用方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种钨和氮化钛金属薄膜的蚀刻液，其特征在于，所述的蚀刻液成分包括占蚀刻液总重量50-80%的磷酸、0.1-5%的硝酸、5-15%的醋酸、0.01-3%的氟化合物、0.01-1%的多元羧酸以及1-40%的水，所述的多元羧酸为柠檬酸，所述的氟化合物为氢氟酸或氟化铵。
2.根据权利要求1所述的钨和氮化钛金属薄膜的蚀刻液，其特征在于，所述的蚀刻液主要成分包括占蚀刻液总重量65-75%的磷酸、0.5-3%的硝酸、8-12%的醋酸、0.01-1%的氟化合物、0.01-0.5%的多元羧酸以及10-20%的水。
3.根据权利要求1所述的钨和氮化钛金属薄膜的蚀刻液，其特征在于，所述的磷酸浓度为≥85%。
4.根据权利要求1-3任一项所述的钨和氮化钛金属薄膜的蚀刻液的使用方法，其特征在于，该蚀刻液的配制方法为，在PFA瓶中分别按顺序添加磷酸、多元羧酸、醋酸、硝酸、氟化合物，最后加入水将蚀刻液调至配制总量，采用搅拌或超声分散得到蚀刻液；将钨和氮化钛金属薄膜浸泡于蚀刻液中，在50-80℃下蚀刻30-100min即可完成蚀刻。
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