[发明专利]一种用紫外光固化的芯片器件封装工艺有效
| 申请号: | 201910542874.2 | 申请日: | 2019-06-21 |
| 公开(公告)号: | CN110429170B | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
| 发明(设计)人: | 王钢;严兵;陈梓敏 | 申请(专利权)人: | 中山大学 |
| 主分类号: | H01L33/52 | 分类号: | H01L33/52;H01L33/56 |
| 代理公司: | 广州圣理华知识产权代理有限公司 44302 | 代理人: | 胡小英 |
| 地址: | 510006 广东省广州市番*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 紫外 光固化 芯片 器件 封装 工艺 | ||
本发明提供了一种用紫外光固化的芯片器件封装工艺,包括如下步骤:S1.将紫外固化胶在室温下搅拌混合均匀后进行抽真空除气泡,形成均匀稳定的紫外固化胶;S2.将紫外固化胶均匀涂敷在封装基板和芯片表面,紫外固化胶对芯片形成包覆结构且与封装基板和芯片接触良好;S3.将所需波长的近紫外光均匀的照射在紫外固化胶表面,待紫外固化胶反应完全固化后移除近紫外光,完成紫外光固化封装工艺。本发明采用MTQ硅树脂、含有巯基的MTQ硅树脂、含有苯基的MTQ硅树脂和光引发剂制备紫外固化胶,极大地提高了紫外固化胶对芯片封装的密封性以及透明稳定性。本发明所述封装工艺成本低廉且高效快速,具有显著的经济效益。
技术领域
本发明属于芯片器件封装技术领域,主要涉及一种用紫外光固化的芯片器件封装工艺。
背景技术
封装工艺在电子器件生产制造过程中至关重要,其中所用的封装材料,除了对器件具有如防水,防氧化,防虫蛀等保护的作用外,对器件的性能提高也具有一定的作用。
在光电子器件中,利用透镜封装一方面可以保护芯片,另一方面还能提升光萃取效率。用于制作透镜的封装材料通常为环氧树脂或硅树脂,这类热固化材料需要在一定的温度下,加热烘烤几十分钟才能完全成型。对某些不耐温的器件,较长时间的高温烘烤环境对器件会造成一定的损伤。比如发明专利授权号CN105906955B公布了一种透明环氧聚异丁烯灌封料,加热固化操作为120-150℃分段固化,其中在120℃固化时间不少于90min,在150℃固化60min以下。发明专利授权号CN106848036B,实用新型专利授权号CN206116449U,CN206236702U公布的几种新型LED封装结构及其封装方法中,均采用热固硅胶或热固树脂作为LED透镜的制作材料。这类热固化材料在封装工艺实施过程中,存在着耗时、耗能、器件初始损伤较大等缺点,增加了生产成本和降低了社会效益。
在紫外光固化材料的应用中,发明专利公开号CN108913083A公布了一种可剥离的光固化粘结剂,其在UVA波段150mW/cm2光能量密度下,光固化需要正反面各1分钟,然而其在较高温度下容易软化脱落,并不适合应用于器件的封装。发明专利公开号CN109652001A公布了一种高透明、低雾度的UV固化胶,以聚氨酯丙烯酸酯、聚丙烯酰胺、甲基丙烯酸酯、丙烯酸酯为主体材料,提供了一种固化后附着力强,透明度高的粘结剂,然而其并未应用于器件封装工艺,对器件封装工艺的影响尚未可知。实用新型专利授权号CN202395028U公布了一种光固化的LED封装结构,在室温下将掺有光阻剂的硅胶用于紫外光固化封装,然而其光固化所需时间仍为数分钟,难以对透镜的形貌和所掺荧光粉的分布进行控制。
因此,研究一种利用新型的封装材料,对现有封装工艺进行改进,实现一种成本低廉且高效快速的封装工艺,具有显著的经济效益。
发明内容
本发明针对上述现有技术存在的不足,提供一种利用新型的紫外光固化材料和改进封装方法,得到一种用紫外光固化来进行器件封装的工艺。本发明在器件封装过程中具有能耗低,快速高效封装的优点。
为达到上述目的,本发明采用下述技术方案:
一种用紫外光固化的芯片器件封装工艺,包括如下步骤:
S1.将紫外固化胶的原料在室温下搅拌混合均匀后进行抽真空除气泡,形成均匀稳定的紫外固化胶;
S2.将紫外固化胶均匀涂敷在封装基板和芯片表面,紫外固化胶对芯片形成包覆结构且与封装基板和芯片接触良好;
S3.将所需波长的近紫外光均匀的照射在紫外固化胶表面,待紫外固化胶反应完全固化后移除近紫外光,完成紫外光固化封装工艺。
具体地,所述紫外固化胶原料为MTQ硅树脂、含有巯基的MTQ硅树脂、含有苯基的MTQ硅树脂和光引发剂;所述MTQ硅树脂是指由单官能团Si-O单元与三官能团Si-O单元和四官能团Si-O单元聚合形成的一种有机硅树脂;所述快速固化所需时间为30s以内。
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