[发明专利]一种利用超临界流体批量清洗超高纯气体钢瓶的系统及其方法

说明书

本发明公开的是一种利用超临界流体批量清洗超高纯气体钢瓶的系统，包括依次连通的超临界二氧化碳补充管路、高纯气钢瓶清洗管路、有机杂质解析排放管路，二氧化碳补充管路提供超临界的二氧化碳进入高纯气钢瓶清洗管路实现对气钢瓶批量清洗，从高纯气钢瓶清洗管路出来的二氧化碳进入有机杂质解析排放管路，通过有机杂质解析排放管路实现将溶解于二氧化碳中的有机杂质析出，定期排出，有机杂质解析排放管路的常温常压二氧化碳再接入二氧化碳补充管路，进行循环，本发明可快速清除钢瓶内壁面附着的有机杂质，具有处理时间短、一次处理钢瓶量多、能耗低的特点，可以避免了常规高温烘烤对高纯气瓶带了的潜在破坏等技术特点。

技术领域

本发明涉及一种清洗超高纯气体钢瓶的系统及其方法，更具体一点说，涉及一种利用超临界流体批量清洗超高纯气体钢瓶的系统及其方法。

背景技术

目前，在ppm级标准气、高纯电子特气等领域，对于盛装容器钢瓶的回收处理，通常采用钢瓶烘烤箱+抽真空的方式进行，此方法需要将钢瓶加热到200～250℃，并不断抽真空，然后将气化的有机杂质抽出到大气，为了达到高纯气体钢瓶充装要求，需要将钢瓶反复加热抽真空3～5次，具有如下缺点：处理时间长、单次处理钢瓶量少、能耗高，无法快速清除钢瓶内壁面附着的有机杂质，钢瓶处理效率差，设备投资多，不能够满足工业规模处理高纯气体钢瓶的现实需求。

发明内容

为了解决上述现有技术问题，本发明提供具有安全操作性高、能耗低、投资少，钢瓶处理效率高，可一次性处理大量高纯气钢瓶等技术特点的一种利用超临界流体批量清洗超高纯气体钢瓶的系统。

本发明的另一个目的是提供一种利用超临界流体批量清洗超高纯气体钢瓶的方法。

为了实现上述目的，本发明是通过以下技术方案实现的：

一种利用超临界流体批量清洗超高纯气体钢瓶的系统，包括依次连通的超临界二氧化碳补充管路、高纯气钢瓶清洗管路、有机杂质解析排放管路；

所述超临界二氧化碳补充管路进口连通有二氧化碳补充钢瓶，所述超临界二氧化碳补充管路上依次连接有二氧化碳补充截止阀、二氧化碳循环压缩机、冷却水换热器、测量器，所述高纯气钢瓶清洗管路包括第一支路、第二支路，所述第一支路、第二支路末端汇集连通形成有第三支路，所述第一支路上依次连接有原料气钢瓶、超临界二氧化碳原料气钢瓶截止阀，所述第二支路上连接有超临界二氧化碳去充装钢瓶截止阀，所述第三支路上连接有超临界二氧化碳去充装钢瓶止回阀，所述超临界二氧化碳去充装钢瓶止回阀出口延伸并分设有第四支路、第五支路，所述第四支路上连接有超临界二氧化碳截止阀，所述第五支路上依次连接有充装钢瓶、超临界二氧化碳出充装钢瓶截止阀，所述第四支路、第五支路末端汇集形成有第六支路，所述第六支路与有机杂质解析排放管路连通；

作为一种改进，所述有机杂质解析排放管路包括依次序连接在有机杂质解析排放管路上的超临界二氧化碳缓冲罐、超临界二氧化碳节流调阀、有机杂质收集罐，所述有机杂质收集罐连接有相互的独立的常温常压二氧化碳截止阀、有机杂质排泄截止阀，所述常温常压二氧化碳截止阀出口延伸连接在二氧化碳补充截止阀、二氧化碳循环压缩机间。

作为一种改进，所述测量器包括依次序设置的超临界二氧化碳温度计、超临界二氧化碳压力计、超临界二氧化碳流量计；所述原料气钢瓶、充装钢瓶均有若干个。

作为一种改进，超临界二氧化碳补充管路出口端以及超临界二氧化碳缓冲罐入口端均连通有超临界二氧化碳安全阀。

作为一种改进，所述冷却水换热器连通有冷源，所述冷源为工业冷却水罐，所述冷却水换热器设有工业冷却水出口。

作为一种改进，所述第一支路、第二支路汇集连接有第七支路，所述第七支路上依次连接有系统抽真空截止阀、真空电阻规、抽真空旋片泵，所述抽真空旋片泵与外界连通。

作为一种改进，还包括原料气钢瓶集装格，所述原料气钢瓶放置在原料气钢瓶集装格内。