[发明专利]一种生长第二代高温超导带材阻挡层复合膜的镀膜方法

权利要求书

1.一种生长第二代高温超导带材阻挡层复合膜的镀膜方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、将基带安装在驱动系统上，调节镀膜环境的真空度；

S2、开启驱动系统，进行正向走带；开启阴极系统，经洗靶、镀膜后制得第一阻挡层，结束后关闭阴极系统和驱动系统；

S3、开启驱动系统，进行反向走带；开启阴极系统，经洗靶、镀膜后制得第二阻挡层，结束后关闭阴极系统和驱动系统；

所述生长第二代高温超导带材阻挡层复合膜的镀膜方法为反应磁控溅射镀膜方法；

所述驱动系统包括：

收放过渡轮及收放带轮；所述收放过渡轮分别设置在两个所述驱动过渡轮的外侧；所述收放带轮分别设置在两个所述收放过渡轮的外侧；

滚轮，两个所述滚轮间隔设置，基带包裹在两个所述滚轮外侧；

滚筒，所述滚筒设置在两个所述滚轮之间，所述滚筒与基带接触；

驱动过渡轮，所述驱动过渡轮分别设置在两个所述滚轮的外侧；

所述阴极系统包括：

第一阴极单元及第二阴极单元；

所述第一阴极单元及所述第二阴极单元与电源连接；

所述第一阴极单元及所述第二阴极单元的位置分别与所述滚筒的位置相对应；

步骤S1中，将基带安装在驱动系统上的步骤为：

将基带依次安装在一侧的所述收放带轮、所述收放过渡轮、所述驱动过渡轮上， 再将基带多次缠绕在两个所述滚轮和所述滚筒上，最后再将基带依次安装在另一侧的所述驱动过渡轮、所述收放过渡轮、所述收放带轮上；

在基带运行过程中，所述第一阴极单元及所述第二阴极单元的位置仍分别 与所述滚筒的位置相对应；

带轴承的滚筒按压基带。

2.根据权利要求1所述的生长第二代高温超导带材阻挡层复合膜的镀膜方法，其 特征在于，所述基带包括镍-钨合金基带、哈氏合金基带、不锈钢金属基带中的一种。

3.根据权利要求1所述的生长第二代高温超导带材阻挡层复合膜的镀膜方法，其 特征在于，所述阴极系统中：

所述第一阴极单元包括至少一个第一隔离层阴极，所述第二阴极单元包括至少 一个第二隔离层阴极；

所述第一隔离层阴极的靶材与所述第二隔离层阴极的靶材为不同种类型的金属 靶材。

4.根据权利要求3所述的生长第二代高温超导带材阻挡层复合膜的镀膜方法，其 特征在于，步骤S2中，所述洗靶、镀膜的具体步骤为：打开第一隔离层阴极的电源进 行洗靶，靶面稳定后进行镀膜；

步骤S3中，所述洗靶、镀膜的具体步骤为：打开第二隔离层阴极的电源进行洗靶， 靶面稳定后进行镀膜。

5.根据权利要求1或4所述的生长第二代高温超导带材阻挡层复合膜的镀膜方法， 其特征在于，所述电源为射频电源、直流电源或中频电源。