[发明专利]一种In-Ni体系钎料及其制备方法

权利要求书

1.一种利用In-Ni体系钎料制备Cu/In-30Ni/Cu焊点的方法，其特征在于：所述In-Ni体系钎料由In颗粒与Ni颗粒组成通式为In-xNi复合颗粒钎料，其中X代表在钎料中Ni的重量百分比；

所述In-xNi复合颗粒钎料中X为30；

该方法包括如下步骤：

1）复合钎料粉末的制备

将In颗粒与Ni颗粒按照重量比例，配出In-xNi混合粉末，混合均匀后加入松香型助焊剂，搅拌均匀后获得In-xNi混合颗粒钎料膏；所述松香型助焊剂与In-xNi混合粉末的重量比为1:9；

2）试件表面处理

选用紫铜作为基板材料，对紫铜基板材料的表面采用砂纸进行打磨，对需要进行钎焊的紫铜基板材料面用W1.5金刚石研磨膏进行抛光，处理完毕用无水酒精清洗并冷风吹干；

3）涂覆工序

将In-xNi混合颗粒钎料膏均匀涂抹在步骤2）处理的尺寸为12mm×12mm的下紫铜基板材料，将步骤2）处理的尺寸为10mm×10mm 的紫铜基板材料端面抛光作为上基板，与上基板装配成三明治结构试样；

4）键合工序

将三明治结构试样放置在晶圆键合机中键合，然后空冷即得；所述键合的条件为：键合时间120min，键合压力3MPa，键合温度260℃。