[发明专利]特定环境使用的快冷式加热器

权利要求书

1.一种基于半导体/航天/海洋/医药/精密材料领域中真空快冷式加热器装置，其特征在于，

包括：密闭式加热模块，隔绝式连接组合模块

所述密闭式加热模块，用于平衡加热丝(管)工作时压力其本体和工艺环境隔绝装置。

所述隔绝式连接组合模块，用于联通加热丝(管)和工艺环境外大气的装置。

2.根据权利要求1所述的密闭式加热模块的装置，其特征包括；

加热盘密闭结构；用于在和工艺环境隔绝条件下直接作用于加热的受用件，

加热作用面的估算公式；用于克服加热表面的热膨胀带来的表面不平整而造成加热受用体各点受热不均的问题。

3.根据权利要求1所述的隔绝式连接组合模块的装置 其特征包括；

软体密封连接件：用于加热丝(管)冷端和引线包括热电偶传感器从加热器内部到大气的连接。

以上所述仅为本发明的基本实施结构而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。