[发明专利]一种加工石英炉管的排风过滤系统及方法

说明书

本发明涉及一种加工石英炉管的排风过滤系统及方法，包括锥状抽风口、锥状送风口、抽风管道、送风管道、抽风机、送风机以及球形风口，抽风管道的一端连接抽风机，另一端连接锥状抽风口，送风管道的一端连接送风机，另一端连接锥状送风口，锥状送风口的直径大于锥状抽风口的直径，送风管道的直径大于抽风管道的直径，锥状抽风口和锥状送风口之间设有多个用于调节风向的球形风口。本发明一方面可及时将热量从抽风管道排出，保证工作区域的热量及时排出，另一方面利用输送的冷气流降低烧制产生的热能，从而达到降低局部工作区域温度的目的，可有效降温20℃以上，保持工作环境的洁净度并延长了设备的维修周期。

技术领域

本发明涉及排风设备技术领域，具体为一种加工石英炉管的排风过滤系统。

背景技术

目前，在集成电路制程中所用的石英零部件在加工时，工作环境需要一定的洁净度并需要用氢氧气火焰烧制而成。特别是在加工石英炉管时，需要在旋盘设备上用两把以上的37灯芯氢氧气火焰枪加工。此时会产生大量的热能(周边温度可达50℃以上)和氧化物(石英sio2的挥发物)，造成加工人员劳动强度的增加和加工环境的污染，并且在使用过程中，高效过滤网需要频繁的更换。

现有的排风系统与送风系统是分别单独设置的，排风罩单独安装在旋盘设备上侧，送风系统安装在加工车间的周边。加工产品时产生的大量热量靠排风机的吸力排出，如果热能排除不及时，会大大的提升工作环境温度，同时也加剧了排风系统的老化，此时需要增加送风强度才能维持工作环境保持再一定的温度内，此时需要加大消耗大量的能量。如果排风不足的情况下，石英氧化物则无法排除干净而影响产品质量，工作环境的温度也无法明显的下降；针对上述缺陷，本领域技术人员亟需提供一种加工石英炉管的排风过滤系统及方法，能够及时的将热能排出，防止因排风不足导致石英氧化物无法排除干净，改善工作环境。

发明内容

本发明的目的是提供一种加工石英炉管的排风过滤系统及方法，能够及时的将热能排出，能够及时的将热能排出，防止因排风不足导致石英氧化物无法排除干净，改善工作环境。

为实现上述目的，提供如下技术方案：一种加工石英炉管的排风过滤系统，包括锥状抽风口、锥状送风口、抽风管道、送风管道、抽风机、送风机以及球形风口，所述抽风管道的一端连接抽风机，另一端连接锥状抽风口，所述送风管道的一端连接送风机，另一端连接锥状送风口，所述锥状送风口的直径大于所述锥状抽风口的直径，所述送风管道的直径大于所述抽风管道的直径，所述锥状抽风口套设在所述锥状送风口内，所述抽风管道的一端与锥状抽风口连接，另一端从所述送风管道伸出并与所述抽风机连接，所述锥状抽风口和所述锥状送风口之间设有多个用于调节风向的球形风口。

优选的，所述锥状抽风口的正下方设有加热旋盘，所述抽风机通过所述抽风管道将热气流抽离，所述送风机通过所述送风管道将冷气流输送至所述加热旋盘的四周。

优选的，所述球形风口为多个，均匀分布在所述锥状抽风口和所述锥状送风口之间。

优选的，所述球形风口包括球托和球形喷嘴，所述球托固定在所述锥状抽风口和所述锥状送风口之间，所述球形喷嘴嵌设在所述球托的内径内，以调节送风方向。

优选的，所述球形喷嘴的送风方向对准所述加热旋盘。

优选的，所述锥状抽风口的内壁设有复合过滤网，所述复合过滤网包括活性炭滤网、抗菌纤维滤网和HEPA滤网。

本发明还提供一种加工石英炉管的排风过滤方法，包括以下步骤：

S1、开启送风机，通过锥状送风口将冷气流输送至加热旋盘的四周，维持30min；

S2、开启抽风机，使抽风管道保持抽风状态；

S3、将石英炉管装夹在加热旋盘上，打开氢氧气火焰枪；

S4、经氢氧气火焰烧制后的热能和石英氧化物通过锥状抽风口抽离室外；