[发明专利]基因测序芯片、设备及制备方法

权利要求书

1.一种基因测序芯片，其特征在于，包括：基板主体，所述基板主体的第一侧设置有至少一个测序槽，所述基板主体的第一侧且围绕所述测序槽的区域内设置有取光结构，所述取光结构用于将位于所述基板主体内且射向所述取光结构的光线从所述基板主体的第一侧取出。

2.根据权利要求1所述的基因测序芯片，其特征在于，

在所述基板主体的第一侧且除设置有所述测序槽之外的其他区域均设置有所述取光结构。

3.根据权利要求1或2所述的基因测序芯片，其特征在于，所述取光结构包括：设置于所述基板主体的第一侧且呈周期性排布的多个微型槽。

4.根据权利要求3所述的基因测序芯片，其特征在于，所述微型槽的平行于所述基板主体的第一侧的表面的截面形状为圆形。

5.根据权利要求4所述的基因测序芯片，其特征在于，所述微型槽的圆形截面的直径d1满足：20nm≤d1≤250nm。

6.根据权利要求3所述的基因测序芯片，其特征在于，所述微型槽的槽深h1满足：20nm≤h1≤300nm。

7.根据权利要求3所述的基因测序芯片，其特征在于，在所述取光结构中，任意相邻两个所述微型槽的中心点之间的距离p1满足：40nm≤p1≤500nm。

8.根据权利要求1所述的基因测序芯片，其特征在于，所述测序槽的平行于所述基板主体的第一侧的表面的截面形状为圆形。

9.根据权利要求8所述的基因测序芯片，其特征在于，所述测序槽的圆形截面的直径d2满足：100nm≤d2≤2um。

10.根据权利要求8所述的基因测序芯片，其特征在于，所述测序槽的槽深h2满足：100nm≤h2≤2um。

11.根据权利要求8所述的基因测序芯片，其特征在于，所述测序槽的数量为多个，任意相邻两个所述测序槽的中心点之间的距离p2满足：200nm≤p2≤5um。

12.一种基因测序设备，其特征在于，包括：如上述权利要求1-11任一所述的基因测序芯片。

13.一种基因测序芯片的制备方法，其特征在于，所述基因测序芯片为上述权利要求1-11中任一所述的基因测序芯片，所述制备方法包括：

提供所述基板主体；

在所述基板主体的第一侧上形成所述测序槽，以及在所述基板主体的第一侧上形成所述取光结构。

14.根据权利要求13所述的制备方法，其特征在于，当所述基因测序芯片为上述权利要求3中所述的基因测序芯片时；

所述提供所述基板主体的步骤具体包括：

在衬底基板上形成压印胶；

所述在所述基板主体的第一侧上形成所述测序槽，以及在所述基板主体的第一侧上形成所述取光结构的步骤具体包括：

使用预定的纳米压印模板对所述压印胶进行压印处理，以形成所述测序槽和所述微型槽。