[发明专利]被加工物的加工方法

权利要求书

1.一种被加工物的加工方法，该被加工物具有在由呈格子状形成的多条分割预定线划分的区域中形成有器件的正面，该被加工物的加工方法的特征在于，具有如下的步骤：

保持步骤，利用保持工作台对该被加工物的背面进行保持而使该被加工物的该正面露出；

外周缘去除步骤，在实施了该保持步骤之后，使切削刀具切入至该被加工物的该正面的外周缘，使该保持工作台旋转并且使该切削刀具在该被加工物的半径方向上摆动，从而一边使切削宽度变化一边对该被加工物的该外周缘进行切削；

正面保护步骤，在实施了该外周缘去除步骤之后，利用正面保护部件来覆盖该被加工物的该正面的形成有该器件的区域；以及

磨削步骤，在实施了该正面保护步骤之后，利用磨削磨具对该被加工物的该背面进行磨削而将该被加工物薄化至规定的厚度，

在该外周缘去除步骤中，一边使切削宽度变化一边对该被加工物的该正面的该外周缘进行切削，将该外周缘去除以使该被加工物的该正面具有与该被加工物的结晶方位对应的椭圆形状，从而能够通过椭圆形状来识别该被加工物的结晶方位。