[发明专利]光伏电池背钝化沉积装置在审
| 申请号： | 201910519405.9 | 申请日： | 2019-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN110129770A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 陈庆敏;吴晓松;刘敏星;李建新 | 申请（专利权）人： | 无锡松煜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/54 | 分类号： | C23C16/54;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/40;H01L31/18 |
| 代理公司： | 江苏漫修律师事务所 32291 | 代理人： | 周晓东;熊启奎 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 进气口 工艺腔室 保护套管 沉积装置 光伏电池 石英衬 钝化 氨气 室内 尾气处理装置 氮气进气口 多腔室结构 氮氧化硅 镀膜工艺 紧密连接 生产效率 氮化硅 钝化膜 分时段 工艺腔 腔室盖 石英管 氧化硅 主机室 氧化铝 壁层 多层 多机 法兰 硅烷 炉口 笑气 薄膜 连通 主机 外部 | ||
1.一种光伏电池背钝化沉积装置，其特征在于：具有一个主机室，主机室内至少具有一个工艺腔室（5），工艺腔室（5）一端通过炉口法兰（10）与腔室盖（9）紧密连接，另一端与外部的尾气处理装置连通，工艺腔室（5）的壁层结构是保护套管及石英衬管（6），或者是保护套管、石英管及石英衬管（6），在工艺腔室（5）的端部设置有TMA进气口、笑气进气口、硅烷进气口、氨气进气口、氮气进气口五个进气口，五个进气口均通入工艺腔室（5）。
2.根据权利要求1所述的光伏电池背钝化沉积装置，其特征在于：工艺腔室（5）的内壁为石英衬管（6），在石英衬管（6）外周沿轴向套设保护套管或者石英管及保护套管，保护套管外部为加热炉体（8）。
3.根据权利要求1所述的光伏电池背钝化沉积装置，其特征在于：保护套管为耐高温金属管（7）。
4.根据权利要求1所述的光伏电池背钝化沉积装置，其特征在于：保护套管为不锈钢钢管。
5.根据权利要求1所述的光伏电池背钝化沉积装置，其特征在于：保护套管的材料为310钢材。
6.根据权利要求1所述的光伏电池背钝化沉积装置，其特征在于：保护套管的一端部与炉口法兰（10）密封连接。
7.根据权利要求1所述的光伏电池背钝化沉积装置，其特征在于：TMA进气口、笑气进气口、硅烷进气口、氨气进气口、氮气进气口五个进气口均集成在炉口法兰（10）上。
8.根据权利要求1所述的光伏电池背钝化沉积装置，其特征在于：TMA进气口、笑气进气口、硅烷进气口、氨气进气口、氮气进气口五个进气口分布在工艺腔室（5）的一端或两端上，或者由工艺腔室（5）端部的气管延伸到工艺腔室（5）的中部。
9.根据权利要求1所述的光伏电池背钝化沉积装置，其特征在于：TMA进气口、笑气进气口、硅烷进气口、氨气进气口、氮气进气口五个进气口分别与外部的TMA气源、笑气气源、硅烷气源、氨气气源和氮气气源对应连通并由气路控制阀控制开闭。
10.根据权利要求1所述的光伏电池背钝化沉积装置，其特征在于：所述五个进气口在通入工艺腔室前自由组成合并管路，并由对应的控制阀选择性通气。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
