[发明专利]一种基于马兰戈尼效应的晶圆后处理系统和方法在审
| 申请号： | 201910517168.2 | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN110265327A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 李长坤;赵德文;路新春 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张建纲 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆 清洗液 晶圆表面 马兰戈尼效应 后处理系统 化学机械抛光 气体喷射装置 附着物 后处理 浸入 方向相反 干燥气体 提升装置 弯液面 附着 提拉 喷射 剥离 | ||
1.一种基于马兰戈尼效应的晶圆后处理系统，包括：
晶圆提升装置，用于从清洗液中提拉浸入所述清洗液的晶圆；
气体喷射装置，用于在所述晶圆从所述清洗液中提升的过程中，向所述晶圆表面附着的所述清洗液的弯液面区域喷射第一温度的干燥气体，以使所述晶圆表面的附着物按照与所述提升方向相反的方向从所述晶圆表面剥离。
2.如权利要求1所述的晶圆后处理系统，其特征在于，所述气体喷射装置包括：
第一喷射机构，用于向所述晶圆的第一表面附着的所述清洗液的弯液面区域喷射所述第一温度的干燥气体；
第二喷射机构，用于向所述晶圆的第二表面附着的所述清洗液的弯液面区域喷射所述第一温度的干燥气体；
其中，所述第一表面和所述第二表面分别为所述晶圆的两个相对面。
3.如权利要求2所述的晶圆后处理系统，其特征在于，所述第一喷射机构和所述第二喷射机构均包括依次连接的气体喷射组件、旋转驱动模块和控制模块；
所述控制模块通过所述旋转驱动模块控制所述气体喷射组件旋转以将其喷射的所述干燥气体对准所述弯液面区域。
4.如权利要求3所述的晶圆后处理系统，其特征在于，所述气体喷射组件包括喷杆，所述喷杆上间隔设置有多个喷气孔，所述多个喷气孔同时喷射所述第一温度的干燥气体时形成一层风幕，以通过所述风幕喷射所述弯液面区域。
5.如权利要求3所述的晶圆后处理系统，其特征在于，所述气体喷射组件包括喷杆，所述喷杆上设有长狭缝。
6.如权利要求3所述的晶圆后处理系统，其特征在于，所述旋转驱动模块包括旋转电机和电机驱动器。
7.如权利要求1至6任一项所述的晶圆后处理系统，其特征在于，所述第一温度高于所述清洗液的温度且低于60℃。
8.如权利要求1所述的晶圆后处理系统，其特征在于，还包括用于提供所述第一温度的干燥气体的气体供给源，所述气体供给源与所述气体喷射装置之间通过管路连接。
9.如权利要求8所述的晶圆后处理系统，其特征在于，所述管路上设置有用于控制管路通断的控制阀和用于控制所述干燥气体流量的流量计。
10.一种基于马兰戈尼效应的晶圆后处理方法，包括：
从清洗液中提拉浸入所述清洗液的晶圆；
在所述晶圆从所述清洗液中提升的过程中，向所述晶圆表面附着的所述清洗液的弯液面区域喷射第一温度的干燥气体，以使所述晶圆表面的附着物按照与所述提升方向相反的方向从所述晶圆表面剥离。
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