[发明专利]一种基于VBA语言的电性数据处理方法及存储介质

权利要求书

1.一种基于VBA语言的电性数据处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

通过界面获取产品信息，所述产品信息包括数据路径，所述产品为晶圆；

根据产品信息中的数据路径载入产品的电性数据；

判断载入的电性数据是否需要判断异常数据；

若是，则进行数据异常判断，判断电性数据中的异常数据，并标出异常数据，将电性数据中的异常数据剔除后，进行计算得到电性数据的计算信息；

若否，则直接对电性数据进行计算得到电性数据的计算信息；

输出计算得到的电性数据的计算信息及根据电性数据绘制的图形，若电性数据中含有异常数据，则在绘制的图形中与产品位置对应的位置标出异常数据，所述计算信息包括最大值、最小值、均值、标准差及良率。

2.根据权利要求1所述基于VBA语言的电性数据处理方法，其特征在于，所述产品信息包括产品项目名称，所述“判断电性数据中的异常数据”具体包括以下步骤：

根据产品项目名称，将对应产品项目名称的电性数据逐一与规格信息进行比对，当电性数据超出规格信息的范围，则该电性数据为异常数据，所述规格信息包括上限值、下限值、项目单位及目标值。

3.根据权利要求1所述基于VBA语言的电性数据处理方法，其特征在于，所述“判断电性数据中的异常数据”具体包括以下步骤：

计算出电性数据中的最大值、最小值、平均值及标准差；

求出最大值与平均值的差值的绝对值及最小值与平均值的差值的绝对值确定离群标记值；

通过将离群标记值与平均值的差值的绝对值减去标准差，则得到离群标记值的残差值；

将得到的残差值与待查表中查表值进行比对，若残差值大于查表值，则该离群标记值为离群值；

将该离群值从电性数据中剔除，重新计算剔除该离群值后的电性数据中的离群值，直至计算得到电性数据中所有的离群值，所述离群值为异常数据。

4.根据权利要求3所述基于VBA语言的电性数据处理方法，其特征在于，所述产品信息包括置信度；

所述“将得到的残差值与待查表中查表值进行比对”具体包括：

将得到的残差值与置信度对应的待查表中的查表值进行比对。

5.根据权利要求4所述基于VBA语言的电性数据处理方法，其特征在于，所述“直至计算得到电性数据中所有的离群值”之后还包括以下步骤：

将计算得到的所有离群值从电性数据中剔除得到初步结果；

判断初步结果中最大值除以最小值的值是否在预设范围内；

若不在预设范围内，则将初步结果的最大值及最小值中与初步结果的平均值的绝对差值大的数据标记为离群值；

然后将离群值从初步结果中剔除，再次判断剔除离群值的初步结果中最大值除以最小值的值是否在预设范围内，直至初步结果中的所有数据都在预设范围内。

6.一种存储介质，所述存储介质内存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器运行时执行以下步骤：

通过界面获取产品信息，所述产品信息包括数据路径，所述产品为晶圆；

根据产品信息中的数据路径载入产品的电性数据；

判断载入的电性数据是否需要判断异常数据；

若是，则进行数据异常判断，判断电性数据中的异常数据，并标出异常数据，将电性数据中的异常数据剔除后，进行计算得到电性数据的计算信息；

若否，则直接对电性数据进行计算得到电性数据的计算信息；

输出计算得到的电性数据的计算信息及根据电性数据绘制的图形，若电性数据中含有异常数据，则在绘制的图形中与产品位置对应的位置标出异常数据，所述计算信息包括最大值、最小值、均值、标准差及良率。

7.根据权利要求6所述存储介质，其特征在于，所述产品信息包括产品项目名称，所述处理器执行步骤“判断电性数据中的异常数据”时具体执行以下步骤：

根据产品项目名称，将对应产品项目名称的电性数据逐一与规格信息进行比对，当电性数据超出规格信息的范围，则该电性数据为异常数据，所述规格信息包括上限值、下限值、项目单位及目标值。