[发明专利]一种双测量的单驱动刚柔耦合运动平台

权利要求书

1.一种双测量的单驱动刚柔耦合运动平台，其特征在于，所述刚柔耦合运动平台包括：核心运动平台、刚性支撑平台、柔性铰链组和测量系统；

所述核心运动平台和所述刚性支撑平台通过所述柔性铰链组连接；

所述测量系统用于测量所述核心运动平台和所述刚性支撑平台之间的相对位移；

所述测量系统包括：连接板组件、相对位移检测元件和光栅尺；

所述连接板组件包括：第一连接板和第二连接板；

所述第一连接板的一端和所述第二连接板的一端连接；

所述第一连接板的另一端被固定在核心运动平台上，所述第二连接板的另一端被固定在刚性支撑平台上；

所述光栅尺通过所述第一连接板安装在所述核心运动平台上；

所述相对位移检测元件通过所述第二连接板安装在所述刚性支撑平台上；

所述刚柔耦合运动平台还包括位移测量元件，所述位移测量元件安装在所述核心运动平台上，用于读取所述核心运动平台的位移。

2.根据权利要求1所述的一种双测量的单驱动刚柔耦合运动平台，其特征在于，所述刚柔耦合运动平台还包括调节机构，所述调节机构用于调节所述柔性铰链组的刚度。

3.根据权利要求2所述的一种双测量的单驱动刚柔耦合运动平台，其特征在于，所述调节机构设置在所述核心运动平台与所述刚性支撑平台之间，通过改变所述核心运动平台与所述刚性支撑平台之间的相对位置来调节所述柔性铰链组的刚度。

4.一种精密运动平台，其特征在于，所述精密运动平台包括：底座、固定在所述底座上的直线导轨、滑块、权利要求1-3任一项所述的刚柔耦合运动平台、驱动器；

所述刚柔耦合运动平台中的核心运动平台与所述驱动器连接，所述刚性支撑平台通过所述滑块与所述直线导轨连接。