[发明专利]柔性器件缓冲层及其制备方法与柔性器件在审
| 申请号： | 201910504014.X | 申请日： | 2019-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN110316690A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 夏玉明;卓恩宗 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司;滁州惠科光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;B32B9/00;B32B9/04;B32B33/00 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 柔性器件 缓冲层 无机层 乙烯醇共聚物 乙烯 膜层 制备 水汽阻隔性能 有效防止气体 水汽阻隔性 膜层表面 耐高温性 弯折性能 杨氏模量 有效解决 耐高温 有机层 制造 生产 | ||
1.一种柔性器件缓冲层，其特征在于，包括乙烯-乙烯醇共聚物膜层和无机层，所述无机层设于所述乙烯-乙烯醇共聚物膜层表面。
2.如权利要求1所述的柔性器件缓冲层，其特征在于，所述无机层包括含硅无机物和含铝无机物中的一种或两种。
3.如权利要求1所述的柔性器件缓冲层，其特征在于，所述乙烯-乙烯醇共聚物膜层的厚度为1μm到10μm；
且/或，所述无机层的厚度为20nm到100nm。
4.一种柔性器件缓冲层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
制备乙烯-乙烯醇共聚物膜层，得到乙烯-乙烯醇共聚物膜层；
在所述乙烯-乙烯醇共聚物膜层表面制备无机层。
5.如权利要求4所述的柔性器件缓冲层的制备方法，其特征在于，“在所述乙烯-乙烯醇共聚物膜层表面制备无机层”的步骤包括：
将所述乙烯-乙烯醇共聚物膜层放入原子层沉积设备的反应室内；
将第一前驱体和第二前驱体以脉冲的方式交替地通入所述反应室并沉积在所述乙烯-乙烯醇共聚物膜层表面，以使所述第一前驱体和所述第二前驱体在所述乙烯-乙烯醇共聚物膜层表面反应生成无机层。
6.如权利要求5所述的柔性器件缓冲层的制备方法，其特征在于，所述第一前驱体包括硅源前驱体和铝源前驱体中的一种或两种；
且/或，所述第二前驱体包括氧源前驱体和氮源前驱体中的一种或两种。
7.如权利要求6所述的柔性器件缓冲层的制备方法，其特征在于，所述第一前驱体包括正硅酸乙酯、正硅酸甲酯、三甲基氯硅烷、四甲基硅烷、三甲基铝、三叔丁基铝中的一种或多种。
8.如权利要求4所述的柔性器件缓冲层的制备方法，其特征在于，“制备乙烯-乙烯醇共聚物膜层，得到乙烯-乙烯醇共聚物膜层”的步骤包括：
将乙烯-醋酸乙烯共聚物置于碱性条件下，以皂化生成乙烯-乙烯醇共聚物；
将所述乙烯-乙烯醇共聚物进行涂布，得到乙烯-乙烯醇共聚物膜层。
9.如权利要求8所述的柔性器件缓冲层的制备方法，其特征在于，“将乙烯-醋酸乙烯共聚物置于碱性条件下，以皂化生成乙烯-乙烯醇共聚物”的步骤包括：
乙烯-醋酸乙烯共聚物置于第一碱性条件下，以进行第一次皂化，得到中间物；
将所述中间物置于第二碱性条件下，并升温以进行二次皂化生成乙烯-乙烯醇共聚物，其中，所述第二碱性条件的碱性高于所述第一碱性条件的碱性。
10.一种柔性器件，其特征在于，包括衬底和权利要求1至9中任一项所述的柔性器件缓冲层，所述柔性器件缓冲层设于所述衬底表面。
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